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测厚仪操作说明 编制人：肖亚何 更新时间：2016.7.22 目录 1、测厚仪水份标定： 投用2#扫描架，确认现场供气正常0.4Mpa，急停按钮复位，系统复位（reel scans 复位至初始状态），即可现场或者系统投用2#扫描架。 产品稳定后，取样2#扫描架处左中右三处检定水份，同时记录当前系统显示水份含量。 修正水份参数，主页选择STEP——Recipe Main——右侧选择产品型号——寻找参数栏32. NSP21 Calibration Table 点击参数内容——点击画面下方Main code table——寻找参数IRP22 Calibration table 确认——右侧产品型号——修正参数 3. IRP WW Dynamic intercept 计算方式，按{实验室测量值—扫描仪测量值（取同时间点平均值）}*厚度值/100 +当前 3. IRP WW Dynamic intercept参数值即可，然后数据保存save 重新调用产品规格。（水份标定为不同规格都必须进行标定。） 2、产品厚度修正： 取样当前时间点及当前坐标处产品进行化验检测并且记录当前时间点及当前坐标处厚度，待实际厚度与测量厚度进行偏差计算。 修正厚度参数，选择 Recipe change 项，修改 NSP11 KCM 前扫描架（NSP21 KCM 后扫描架）在原有参数基础上进行数字加减，暂无比例，微量调