激光超声和声成像技术.pdfVIP

激光超声和声成像技术 钱梦騄 ( 同济大学声学研究所 上海 200092) 1 引言 激光超声和声成像技术是当前检测声学研究的两个重要分支。当一束脉冲激光入射到固 体表面时, 由于试样吸收光能而形成一个局域的热弹声源, 在试样中可激发多种模式的声波。 利用各种形式的超声换能器或光检测技术,检测在试样中激发的激光超声脉冲,开展波传播理 论、材料特性的无损评估和检测等研究, 是新兴的”激光超声学” 的主要研究内容。 声成像是人们利用声波来观察物质世界的一种手段。由于声波成像不仅可获得材料的表 面像, 而且可以获得不透明材料的亚表面的弹性像。随着材料学科的发展,各种新型的薄膜材 料,纳米材料,微电子和微机电器件等的发展,声成像技术也已成为观察和研究物质微区结构 和力学性质的重要手段。 本文主要对应用激光超声研究流— 固界面波和固— 固界面波的进展, 以及空间分辨率分 别为亚mm, μm 和nm 的三种声成像技术作简单的介绍。 2 激光超声及界面波的研究 脉冲激光器和激光干涉仪(或其它光检测技术)组成的全光学激光超声系统, 由于具有 宽带、灵敏和非接触激发和检测等优点而得到广泛应用。 (a) 全光学激光超声系统 (b)理论结果 (c) 实验结果 图1 单晶铜(001)面上各表面波模式的群速度曲线的激光超声实验和理论结果 图 1(a)是同济大学建立的激光超声研究系统。它由 Brilliant-B 脉冲激光器(532nm, 180mJ, 5ns), Tempo 光折变激光干涉仪( 532nm, 200mW, 10-9nm(WHz)1/2), (PM10V1 + PM5200) 光功率计(W 2 max=5J/cm )和Newport 的三维平移台(精确度0.5μm,0.1μm)组成。实验 由微机控制进行。 图1(c)是激光脉冲点源在单晶铜(001)表面上激发的各种表面波模式的群 速度曲线的实验结果, 它不仅正确地反映了单晶铜(001)表面上波传播的各向异性, 而且检 测到理论预计的所有模式的波,与理论结果( 图1(b))完全吻合[1]。 由于全光学的激光超声系统具有非接触检测的特点,不仅可以应用于弯曲表面的材料 (例如: 园棒、园管等) 的表面波传播特性研究和无损评估[2-7], 而且还为各种界面波传播特 性的研究, 为材料界面特性的无损评估提供了一种有效的新途径。 2.1. 气— 固界面波的研究[8,9] 1980 年Brekhovskikh 曾提到气— 固界面波的问题。1995 年, Godinez-Azcuage 和 Adler 也理论预计有一个脉冲波在空气—流体饱和的多孔材料界面上传播.但他们都没有在实验中 检测到这个在界面气体层中传播的界面波。 图2 是用激光超声技术在直径26mm 铝棒的外表面上,检测到的沿园周方向传播的界面 波。脉冲激光波长 533nm, 能量6.5mJ, 波形是 512 次的平均结果。与铝棒轴线平行的一个 脉冲激光线源, 在铝棒的柱面上不仅同时激发了两个反向传播的周向表面波 R 和 R , 还激 1 2 发了一个传播速度低的界面波, 它在R2 和行进了一周后的R* 波之间。这三个波的传播时间