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声表面波滤波器的叉指换能器技术演进概述 　　摘 要：声表面波（SAW）滤波器因具有带外抑制性好、体积小等特点，广泛应用于移动通信领域。文章首先介绍了SAW滤波器的工作原理；然后从专利申请角度对国内外SAW滤波器发展状况进行梳理；随后从SAW滤波器的叉指换能器电极结构对SAW滤波器中的关键技术进行了分析；最后，对SAW滤波器的发展进行了总结。 　　关键词：声表面波；滤波器；叉指换能器 　　引言 　　声表面波是一种沿物体表面传播的弹性波， SAW技术在雷达、广播电视等领域获得广泛应用[1]。然后随着移动通信飞速发展，SAW器件的需求急剧增长，声表面波技术越来越得到重视。随着制造技术的发展，SAW器件性能的优越性越来越凸显，因其频率响应平坦、体积小等优点而得到广泛的应用[2]，随着SAW滤波器的广泛应用，对其性能要求也越来越高，由此使SAW滤波器技术迅猛发展。 　　1 SAW滤波器国内外的发展状况 　　作者对历年来SAW滤波器的国内外专利申请进行了梳理，如图1所示。从全球专利申请量来看，在20世纪80年代中后期，由于电视、卫星通信的发展，SAW滤波器技术随之发展，出现了第一次专利申请峰值；随后在90年代中后期，随着移动通信的发展，SAW滤波器因其体积小、损耗低被大量应用于手机等通讯设备中，其专利申请量出现第二次峰值，但随着SAW滤波器技术的日趋完善，全球SAW滤波器的相关专利申请从2005年左右开始有下降趋势。 　　从国内专利申请量来看，国内SAW滤波器技术从上世纪90年代开始发展，在20世纪末到21世纪初，SAW滤波器技术在国内开始迅速发展，但由于国内整体起步较晚，技术发展相对较慢，因此近年来在SAW滤波器技术方面的国内专利申请量依然保持平稳发展态势。 　　2 SAW滤波器的IDT电极技术发展及关键技术 　　SAW滤波器的主要组成有输入输出IDT电极和压电基片，与SAW滤波器性能密切相关的因素即是IDT电极的设计，因此，文章从IDT电极设计这一技术分支分析了SAW滤波器的技术发展路线。 　　第一份完整描述SAW滤波器结构的专利申请是1966年的一份美国专利申请（US3446974A），其采用无SAW内反射的双向IDT结构，这种滤波器即使在理想的声电转换下也有至少6dB的双向损耗。交错叉指换能器（IIDT）是1969年出现的一种低损耗SAW滤波器结构（US3582840A），如图2所示，其由三个IDT构成一个横向滤波器，两边的IDT结构相同，中间的IDT是中心对称的，中间的IDT与负载阻抗匹配时，能检测到从两边IDT传向中间的所有激励的声表面波，不会产生声表面波反射，其产生的双向损耗是3dB，因此降低了横向滤波器的双向损耗。 　　在此之前的滤波器均采用均匀抽样的IDT结构，但均匀抽样的IDT结构实现宽带滤波器时存在损耗大的问题，因为周期抽样的IDT结构滤波器在其同步频率处声电转换效率最高，偏离中心频率越远，声电转换效率越低，因此倾斜换能器滤波器结构被提出（US4616197A），如图3所示，电极沿着器件孔径方向是周期变化的，器件上部激励通带高频部分的信号，器件下部激励低频部分的信号，将滤波器划分成不同频率的很多子通道，每个通道产生不同频率的窄通带，最终合成一个宽通带，由此实现较宽频带的滤波器设计。 　　将声表面波谐振器作为电路元件的滤波器结构（JPH0766676A） 　　自提出以来引起了研究者的极大关注，将该种滤波器称为阻抗元滤波器（IEF），如图4所示，常见的阻抗元滤波器有π型、X型和梯形三种结构。阻抗元滤波器的插入损耗低，功率承受能力强，近端抑制高，其在射频前端双工系统中使用中具有优势。 　　3 结束语 　　SAW滤波器伴随着移动通信的发展，为现代移动通信作出了很大的贡献，其在性能上已表现卓著，但依然也面临着更大的挑战，移动通信频率的逐渐提高促使SAW滤波器也将向高频、宽带化发展，同时其功率承受能力也是一个重要因素，如何设计出同时兼具高频宽带、低损耗、小体积的SAW滤波器也是未来研究者面临的一个重要挑战。 　　参考文献 　　[1]曹亮，秦廷辉.声表面波滤波器技术及发展[C]//中国电子学会电子元件学术年会，2006. 　　[2]黄刚.声表面波滤波器的应用及发展[J].电子元器件应用，2002（3）：24-25. 3