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別表第１（要項第７関係） 設備名 算定基礎 料金（円） 備考 ナノ結晶方位可視化装置 １時間につき 290 ２Ｆ共同研究実験室 昇温脱離ガス質量分析装置 １時間につき 180 ３Ｆ動的微細構造解析室 雰囲気制御高温ＸＲＤ １時間につき 190 ３Ｆ動的微細構造解析室 粉体性能評価装置 １時間につき 110 ３Ｆ動的微細構造解析室 三次元ナノ組織可視化装置 １時間につき 2,190 ３Ｆ先端材料組織解析室 顕微ラマン装置 １時間につき 180 ３Ｆ先端材料組織解析室 イオンビーム加工?表面分析装置 １時間につき 240 ３Ｆナノ表面精密加工室 ＭＯＣＶＤ装置 １時間につき 400 ４Ｆ薄膜作製室（クリーンルーム） クリーンドラフト １時間につき 180 ４Ｆ薄膜作製室（クリーンルーム） 超純水製造装置 １時間につき 110 ４Ｆ薄膜作製室（クリーンルーム） 超短パルスレーザ発振機 １時間につき 240 ４Ｆレーザー精密加工室（クリーンルーム） ビームプロファイラー １時間につき 110 ４Ｆレーザー精密加工室（クリーンルーム） レーザー加工用ＣＡＤ １時間につき 110 ４Ｆレーザー精密加工室（クリーンルーム） めっき装置 １時間につき 220 5Ｆめっき室（クリーンルーム） クリーンドラフト １時間につき 180 5Ｆめっき室（クリーンルーム） 超純水製造装置 １時間につき 110 5Ｆめっき室（クリーンルーム） 投影露光装置 １時間につき 180 5Ｆめっき室（クリーンルーム） 現像装置 １時間につき 160 5Ｆめっき室（クリーンルーム） スプレーコーター １時間につき 180 5Ｆめっき室（クリーンルーム） 燃料電池自動評価装置 １時間につき 160 ５Ｆ燃料電池評価室 燃料電池性能試験装置 １時間につき 110 ５Ｆ燃料電池評価室 ＣＭＰ装置 １時間につき 160 ５Ｆめっき膜評価室 蛍光Ｘ線装置（膜厚計） １時間につき 160 ５Ｆめっき膜評価室 ＬＩＢ試作設備 １時間につき 160 ６Ｆリチウム電池試作室 ＬＩＢ電極板作製機 １時間につき 210 ６Ｆリチウム電池試作室 乾燥空気製造送風装置 １時間につき 750 ６Ｆリチウム電池試作室 乾燥保管庫 １時間につき 140 ６Ｆリチウム電池試作室 電池評価用恒温槽 １時間につき 180 ６Ｆ充放電試験室 充放電装置 １時間につき 170 ６Ｆ充放電試験室 微粉末材料フッ素化装置 １時間につき 110 ６Ｆフッ素利用加工室 グローブボックス １時間につき 170 ６Ｆフッ素利用加工室 隔離安全性試験設備 １時間につき 320 ６Ｆリチウム電池安全性評価室 充放電装置 １時間につき 170 ６Ｆリチウム電池安全性評価室 電池評価用恒温槽 １時間につき 180 ６Ｆリチウム電池安全性評価室 別表第２（要項第７関係） 施設名 算定基礎 料金（円） 備考 Ⅱ-205 共同研究実験室 １時間につき 300 ２Ｆ Ⅱ-301 動的微細構造解析室 １時間につき 400 ３Ｆ Ⅱ-302 セキュリティ管理?データ解析室 １時間につき 500 ３Ｆ Ⅱ-303 先端材料組織解析室 １時間につき 400 ３Ｆ Ⅱ-305 ナノ表面精密加工室 １時間につき 400 ３Ｆ Ⅱ-401 薄膜作製室（クリーンルルーム） １時間につき 1,000 ４Ｆ Ⅱ-402 レーザー精密加工室（クリーンルーム） １時間につき 800 ４Ｆ Ⅱ-501 めっき室（クリーンルーム） １時間につき 1,000 ５Ｆ Ⅱ-502 燃料電池評価室 １時間につき 300 ５Ｆ Ⅱ-504 燃料電池試作室 １時間につき 300 ５Ｆ Ⅱ-506 めっき膜評価室 １時間につき 300 ５Ｆ Ⅱ-601 リチウム電池試作室 １時間につき 300 ６Ｆ Ⅱ-602 充放電試験室 １時間につき 300 ６Ｆ Ⅱ-604 微粉末特性評価室 １時間につき 300 ６Ｆ Ⅱ-605 フッ素利用加工室 １時間につき 400 ６Ｆ Ⅱ-606 リチウム電池安全性評価室 １時間につき 700 ６Ｆ