真科（.pdfVIP

其他还包括在现场镀膜技术工艺调试，培训 和调试 真科（Gencoa) 三大主要真空溅射镀膜产品范围 磁控管溅射阴极 平面和旋转阴极 反应气体控制器和后 段探测器 平面线性离子源 Gencoa -真科公司历史简介 ? 真科是一家英国私人有限公司 ? 在1995年由 Dermot Monaghan博士所创办。 ? 公司坐落在英国，利物浦 ? 总共有三十四员工 六位多年经验设计专家(Pro E 3D CAD) 四位镀膜工艺研发和仿真模拟科学家／专家 十四位组装技术员及测试工程师 四位市场销售和顾客售后服务(两位亚洲) 三位行政及账户会计 三位电子硬件和软件设计专家 (反应气体控制器-Speedflo) ? 目前国际市场卖了3000多台反应溅射镀膜阴极靶 ? 1000多台反应气体控制器-Speedflo，总共占有市场95% 代理商和批发商遍布全世界各地，95%从英国发货 主要市场在于美国，欧洲，日本，台湾，韩国，中国，东南亚 国外有本公司人员技术支持服务，住在在美国，欧洲和亚洲 GENCOA worldwide company presence 反应气体 工艺控制器 Speedflo – 反应气体控制器 Version A – 8 channelsVersion B – 2 channel (mini) Reactive gas process controllers Speedflo 主要广泛应用于各行业玻璃镀 膜，太阳能玻璃镀膜，显示屏幕玻璃镀 膜，Low-E玻璃镀膜及OLED镀膜的范围， 提高目前与未来镀膜工艺的稳定性，可 产出高端和高质量的产品。 根据顾客所得到的数据- 投资 成本回报 ? 产线工艺镀膜速度加快3到5 倍。 ? 30天之内得到投资回报 （反应控制） 气体反应控制器(Speedflo) 是一款灵活和高性能的仪器，运用可得到最好真空镀膜溅 射沉积和等离子工艺。这是以传感器和反馈信号的灵活性的控制系统。给真空镀膜工 艺带来快速，稳定，高产和高质产品。 反应溅射探测基本原理 反应气体输入 发射 基片 靶材 控制 (Speedflo) Part. Press. 透明程度，导电程度 电压，频率，等离子发放 镀膜工艺信号输入和输出反应溅射控制 输出(气体流量计） ? 反应气体流量控制 ? 靶材电压控制 ? 靶材电源电压输出控制 ? 部分气体压力控制（氩气/节流 闪阀） SpeedFlo - 输入感应 ? PEM – 等离子光波发射探测 ? 金属波长／多类光速波长 输入 ? 多样气体光波输入 ? 氩气光波输入 ? 等离子光波 （等离子表 面处理） ? （Target Voltage) 靶电压（电 源信号输入） ?CCD等离子光谱全波段监控 ? （lambda sensor）氧偏压传感 器 不同反应溅射感应信号输入SPEEDFLO 的特点分别 ? PEM 是高端高速探测系列，可 用于多区域气体光波探感，用光 纤输送溅射气体反应光谱到 speedflo 探测仪不用在真空腔体 内。 ? 靶材表面电压探测（从电源那 里得到电压信号）也是高速系列， 不过基本只有用于一个区域表面 探测，以前就是用于一些靶材和 气体组合探测 , 购买价格属于中 端 ? 气体局部压力 – 多气体探测基 本比较贵，单气体探测比较合算。 探测仪要在真空腔体内。 SPEEDFLO - 输入感应 ? PEM – 等离子光波发射探测 ? 金属波长／多类光速波长 输入 ? 多样气体光波输入 ? 氩气光波输入 ? 等离子光波 （等离子表 面处理） ? （Target Voltage) 靶电压（电 源信号输入） ?CCD等离子光谱全波段监控 ? （lambda sensor）氧偏压传感 器 SPEEDFLO ：唯一真空镀膜反应气体控制器 SPEEDFLO – 各类输控制 ? 反应气体流量控制 ?(Target Voltage) 镀膜溅射电源电压变化控制 ?( Target Power Output) 电源／靶材电力能量耗量控制 ?Gas partial pressure (Ar / throttle valve) 其他气体部分压力控制(氩气控制） ? 为什么多类试的输入和输出控制？ ?以古老的方法有些镀膜工艺有难度稳定的控制 ， 有时设置参数会漂移， 不稳定，波动变化。 SPEEDFLO – 各类输入感应 ? PEM – 等离子光波发射探测 ? 金属波长／多类光速 波长输 ? 多样气体光波输入 ? 氩气光波输入 ? 等离子光波 （等离子 表面处理） ? （Target Voltage) 靶材电压 （电源信号输入） ? （lambda sensor）氩气部分