纳机电系统.pdfVIP

第 2 卷 第 1 期 2004 年 3 月 纳 　米 　技 　术 　与 　精 　密 　工 　程 Nanotechnology and Precision Engineering Vol. 2 　No. 1 Mar. 2004 纳机电系统 胡小唐 ,李 　源 ,饶志军 ,胡春光 ,傅 　星 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ,天津 300072) 摘 　要 : 纳机电系统 (N EMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域 ,同时也是纳米技术的重要组成部分. 文 中介绍了 N EMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性 ,并列举了 N EMS 在生物、信息和纳米流体学 等领域的应用. 最后讨论了 N EMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术 ,如微观效应的影响 ,N EMS 加工技 术 ,N EMS的设计、仿真和优化 ,N EMS器件的驱动与检测 ,N EMS器件与宏观世界的通讯等. 关键词 : 微机电系统 ;纳机电系统 ;纳米技术 中图分类号 : TN603. 5 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 16722 6030 (2004) 012 00012 07 Nanoelectromechanical Systems HU Xiao2tang , L I Yuan , RAO Zhi2jun , HU Chun2guang , FU Xing (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments , Tianjin University , Tianjin 300072 , China) Abstract : Nanoelectromechanical system (NEMS) is a prospective field of technology developed on the basis of micro electromechanical system , and is regarded as an essential aspect of nanotechnology. The important at2 tributes of NEMS , such as ultra2small dimension , ultra2high frequency response , and ultra2low power , are an2 alyzed. Some typical applications of NEMS in biology , information , and nanofluid fields are presented. Final2 ly , encountered challenges and involved key technologies in NEMS research , including microcosmic effect , NEMS machining technology , the design , simulation and optimization of NEMS ,the drive and measurement of NEMS device , and the communication between NEMS device and macro cosmos , are discussed. Keywords : micro electromechanical system ; nanoelectromechanical system ; nanotechnology 　　微机电系统 ( micro electromechanical system , MEMS)技术是一种在微电子技术的基础上 ,融合硅微 加工和精密机械加工等多种微加工技术 ,并应用现代 信息技术而构造的微型系统. 它是微电子技术的延伸 和扩展 ,不但具有信号处理功能 ,还可以对外部世界感 知甚至作用. 因为 MEMS 器件可以将尺寸缩小到 1 × 10 - 6 m～1 ×10 - 4 m的范围[1 ] ,所以可以实现许多新功 能 ,如在芯片上处理信号并控制电路、制造大规模多模 态阵列等. 总之 ,基于 MEMS 技术的智能化 ,高功能密 度的新型系统正在对人类的生活生产方式产生革命性 的影响[2 ,3 ] . 　 　纳 机 电 系 统 ( nanoelectromechanical system , N EMS)是基于 MEMS 技术而提出的一个新概念 ,是 指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小 型机电一体的系统 ,一般指特征尺寸在亚纳米到数百 纳米 ,以纳米