光学元件表面疵病检测扫描拼接的误差分析.pdfVIP

第 19 替第 8 期 2008 年 8 月 m 咽~.监捎 Joumal of Optoelectroniω. Laser Vol. 19 No.8 Aug.2008 光学元件表丽疵病检测扫描拼接的误差分析铸 刘旭1僻\杨雨英1 ，刘东1 ，陆春华1 ，肖冰1 ，李凌丰1 ，翁俊森1 ，王琳l ， 杨李著2 ，李瑞沽2 O. 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州 31∞27 ， 2. 中物院激光聚变研究中心，四川绵阳 摘要:为实现大口径光学元件表面疵病的高效率、高精准的检测，本文提出…种能分辨微米级疵病的光学显微 散射扫描成像检测系统，因为该检测系统单个子孔径的物方视场为毫米级，所以检测大口径光学元件需对 X、Y 方向进行子孔径扫描成像并将子孔径阁拼接成同…坐标系下的全孔径图。在进行扫描时，系统的机构误差会 被引入到子孔径列阵中，导致子孔径拼接处产生像素错位，甚至造成拼接断裂的情况，从而严重影响疵病等级 及位置的正确评定。鉴于此，本文对影响全孔径拼接最敏感的误差因素进行了分析，并根据其特点找到合理减 小误差的方法，确保子孔径的正确拼接。 关键词:表面缺陷检测 g 表面散射g 予孔径拼接误差分析g 大口径光学元件 中图分类寄 :TN247 文献标识码 :A 文章编哥: 1005-0086(2008)08-1088心6 Error 创talysis of 创.lb-aperture 即nthesis for de阳伽19 棚rf似~ defi配ts of opticalωm阳护 nenω LIU Xu l ? ? , Y ANG Yong-yir时， LIU IXlr晖， LU Chun-h时，泪AO Bini , LI Ling-fer晖， WENG jun-miao l , WANG Lin 1 , YANG Ii-mini , LI R叶jie2 O. State Key Laboratory of 协dern 向ti侃1 Instrumentation，刀均íang Univer百ity ， 31∞27 ， China， 2. Research cer!翩 ter of Laser Fusion ，CA册，Mianyang ，Sichuan 621∞O ，Clúna) Ahstract: In order to det创 the flaws of 阳ge a院民ure optical oomponents more efficiently 刷刷刷创y， the paper pro仰蜘 ano阳cmiαo-sca忧ering-imaging detecting system wlúch can r，优咱lize def创S 叨th micron 盹.四e order of 0均ectview f岱ld for 町聊聊此ure is only several millimeters, therefore, in orderωexamine def，院tsof 阳静悄眈刷刷ω1 COntPQ- nents ， t附dimension scanning stage is demanded to image the sub-a阳rtur础， and all the sub-apertUI四 51叫d be stitcl叫 When scanning.the error of sub-aperture 盯rays wlúch is indu创 by the 笛ror of institution would result in the misrnatclúng of pixels at the stitclúng place, and even the failure of stitclúng, th凶， it wo吐d affect the evalωtion of def四ts 刷刷ing. n随时ore. to make sure 由e successful synth四s of sub-apertur四，也is 阴阳E 侃而ed on analysís ωthe 创ror whichω且啕翩 nificantly affect the ∞ITTI创 stitclúng of sub-aperture.and f瑶山e out howωreduce the s忧恤Ig酬。，r. K句附也:surfa，αdefects det田íng; Surface 阳tteríng; 创ror analysis of sub-a阳ture 咄咄咄; large a防rture opti- 也1 components 1 冒|富 表面疵病度是衡量光滑表面质量的重要因素之一。随着 现代光学技术的发展，对光学元件表面质量要求越来