各向同性媒质中的扫描电子声显微镜的信号激发.pdfVIP

第 32 卷第 5 期 2∞7 年 9 月 声学学报 ACTA ACUSTICA Vùl. 32, Nù. 5 Sept., 2007 各向同性煤质中的扫描电子声显微镜的倍号:散发* 钱梦黯 彭若龙 (同济大学声学所 上海 捕。092) 2006 部 11 月 17 日收到j 2007 年 2 月 3 日定稿 摘3直 在前期研究(声学学搬l 1991; 16(3): 161一169) 的篡础上，盖章立了改进的娘搅分布模型.利用积分变换和特征函数 展开在击，求解了强殷简i厨调制的咆子柬2睡在各肉同性试丰革中所激发的备种 La.mb 敝模式以及销合tE试样背面的?咆片的咆 ?输出，并分析了扫描电子声显微镜 (SEAM) 的信号撒发机理.结果表明 SEAM 是…-种高分辨率的近场成像技术，它的最 佳横向空间分辨率为 2V2倍的电子:lR焦斑半径.实验结果表明 SEAM 的空间分辨华可优于 0.5μ血，小于试样的热扩散-ts:: f匠，从实验」二证实了理论预计的 SEAM 的近场成像特征. PACS 数， 43.35 Signal generation in an isotropic medium in sc明ning electron acoustic microscope QIAN Meu.在lu PENG Ruolong (lnmtute 01 A四旧刽时， TOf咽rji Unì时俨sitg 幽幽gh刷 200092) Rece?ved Nov. 17, 2006 Revi酷d Mar. 3, 2007 Abotract B嗣吼。现 the research (Acta Ac酬问 (In Chín棚吟， 1991; 16(3): 161叩169)，附加prov，叫 model of hea.t 曲旧曲由t np, th. dilferent mode截。.f L嗣nb w.刷e ín 翩翩trop?c 阻mple generated by a chopped electron be.皿 .. t frequency f 出.e obt血ed wíth íntegral tr皿.sform a.nd norma.l function eχpa出:ion 刷刷hod，制d th. output signal of PZT coupl.d .. t th. back 阳rface ofthe 础mple ís found out. The g阳明a.tion lllech制思刷 of SEAM sigual ia di黯cu酬月f. It .hoW8 that the SEAM ia a 阳ar field 1m吨阳gt配hnique with high spatial r回olution and its best lateral spatial resolution is about 2V2a (α 阻 th. radius of the foc四ed.l则ron b盹叫. Some ofexp町imenta1 r制ults of SEAM imag制制 presented in the paper 刷d it shαws th拙 the spatial r棚。，lutìn of SEAM ís b刑阳r than 0.5μm and smaller than the therrnaJ di航..ion length of the .arnpl.. Therefore the char脏归r of near tìeld imaging in SEAM 四 ..1阳 proved experimentally. 号| 自 1980 年由 Brandis 和Rosencwaig[l) 以及 C即剧1[2) 分别建立扫销也于南显微饶 (S巴AM) 以 来，由于它具有高分辨旦辑、能同时获得试样麦丽电 子显微镜像 (SEM) 和亚麦丽 SEAM 像以及试样制 备简单等优点，已发烧成为…种新的材料漾在E利亚 表丽成像技术. 当电子显微镜 (SEM) 中的聚焦咆子束的强度以 频率I(几十 kHz ~ 5MHz)问期i国制j时，凶T电子与 试仰之间的非弹性碰攘，在试#羊肉形成一交交然源. 该热源蔑接激发出声波以及相应的热波.热波经热 * 国家自然科学基盘资助项目 ι 声模式转换而产生的声波和热源激发的声彼，携 非骨辛苦受制Jl阪域材料的物理丑信息被消t挂在试丰非常阔 的压电晶片被测，再经锁相放大哥哥放大底输入hX.像 系统.当电子束作两维扫描时，就形成了含有试样表 固和.?Jf辛货商信息的 SEAM像.为了更好地解释SEAM 像的物穰含义..?f今日对SEAM的成像机现作