微型二维扫描镜的原理性实验研究.pdfVIP

ISSN 1000-0054 清华大学学报(自然科学版) 2008 年第 48 卷第 11 期 11/40 1919-1922 CN 11嗣2223/N J Tsinghua Univ (Sci Tech) , 2008 , Vol. 48. No.11 微型二锥扫描饶的原理性实验研究 张施，张高飞，尤政 〈清华大学精密仪穗与机械学系，精密测试技术及仪锦国家重点实验室，北京 100084) 摘费3 为满足激光扫描装置微型化的要求，设计丁卢种微 型二维扫描镜，能够通过反射激光束实现二维扫描.对这种 结构建立了理论模型，分析了 2 个方向上的扫描频率和最大 扫描角，对微型二维扫描镜原理样机进行了实验研究.结果 袋明: 2 个叫缎扫描频率分别为 170.1日z 和 378.8日ZI 同时 施加这 2 种谐振频率的激励时，可实现该扫描镜的二维大角 度偏转， 2 个方向上的最大扫描角随激励位移的增加而变 大 4 在 10μm 驱动位移的激励下，该微型二维扫描镜可达到 大于 30.X20.的扫描藏图. 提键词:二维扫描镜$微型化 s 扫描频率 p 扫描拖阁 中图分类号: TN 603 文献标识码.A 文章编号: 1000心054 (2008)11-1919-04 Experimental investigation on the principle of a twφdimensional scanning micro-mirror ZHANG 棚. ZHANG Gao闸. y，αJ Zh拥g (State Key Laboratory of Preclsion M铺surement T，时hnology ud Instrum棚ts.D嚓partment of Preci悦。n lnstruments and M饵hiIllol饨~， Tslnghua Universlty , Beijing 1侃剿， Chi跚跚) Abstnct. A two-dímensíonal scanning mícro-mirror was presented and the laser scanning w嗣 two-dímensíonally achíeved by reflectíon ωmeet the micromatíon requirement of a laser scanning device. A theoretícal model of the structure was usedωanalyze the scanning frequencies and the maximum SC8nning angles of two degrees of freedom. The principle device w嗣 studied and the experíment ShOW8 thst the two scanning frequencíes are 170. 1 Hz酬ul 378.8 日Z ， respectively. The micrc? mirror lcans two阳dimen?ionally wíth large amplitud嗣 when actuated at t啊 scanníng frequencies simultaneoualy. The scanníng range íncreases wíth increasing actuator displacem怠nt. 8y the actuation of 10μm displacement , the 配anning range of the two-dimensional scanníng micro-mirror i. above 30. X 20飞 Key word画， two-dimerωional 配anníng mirror , micromatíon , 时anning frequency I scanning range 扫描镜是激光扫描系统的关键技术，在激光探 测与测最领城具有广阔的应用前景[1]. 随着微米纳 米技术的发展，慕于微机电系统(MEMS)技术的微 反射镜已成为捅前的研究热点，在光通信、光开关、 光扫描和图像显示等领域中体现了重要的应用价 值[幻。微型二维扫描镜是一种新型的偏转扫描微反 射镜，反射面具有两个自由度，根据光的反射工作原 理，涌过反射丽的位置不断发生变化，改变入射光的 方向，对某…区域进行二锥扫描。 目前研制的微型工维扫描镜主要采用静电、电 融、电热成压电等方式，耶动反射镜实现工维偏转， 并通过驱动反射镜在偏转方向上产生谐振来实现高 频率、大角度的扫描，与传统的激光扫描装置相比具