扫描探针声显微镜原理及其应用.pdfVIP

第 27 卷第 2 期 2∞8 年 4 月 电子 lt 微学报 Vol-27 ,No.2 2ω8-04 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 文章编号 :1α灿6281(2∞8)02-0167-05 扫描探针声显微镜原理及其应用 占左玲，刘世阂，蔡微，徐平铃 (北京航空航天大学理学院，北京 l∞083) 摘 婆:将声学检测技术与扫描探针显微术相结合，构成的扫描探针声显微镜，不仅可以检测材料表面、亚，*-iJ 和 内部的微小缺陷，还可以分析样品的弹性特性、电特，院等物理性能，同时还具有分辨率高的特点，在材料科学和生 命科学等领域具有很高的应用价像。阔前，得到实际应用的扫描探针卢.1.微镜主要有扫描隧道声显微镜和原子力 卢显微镜。本文介绍了这两类显微镜的基本工作原理，并对434揭探针声翠微镜今后的发展方向进行了探讨。 关键诩:扫描探钟声.1.微镜;扫描隧道声;在微镜;原子为卢嘉微镜 中图分类号:于G115.21jηI742 文献标识码 :A 声学显做镜的概念早在 20 世纪 30 年代就由前 镜(scanning tunneling acoustic microscope , STAM)和原 苏联学者 Sokolov 首先提出，但直到 1973 年，在美国 子力声跟做镜( atomi町 force acoustic microscope , Stanford 大学的 Quate 教授领导下，才研制成第…台 扫描南显撤销(scanning acoustic mícroscope , SAM) [11 。 其基本工作原理是:利用超声披照射样品，通过换能 器收集反射、选射或散射倍号，从而破得材料的各种 特性，如内部缺陷或损伤，包括气孔、杂质、分居、裂 纹等。然而，由于衍射她应，传统的探测方法分辨率 不高。根据姐声被的榄长，一般声学方法的分辨旦在 在毫米量级在右[刻，无法实现在更精细尺度上对样 品性质的撮做观察分析。 扫描探针显做镜(自canning probe microscope. SPM)是采用尖锐的探针在样品表面扫描，利用探针 与样品间的各种相互作用，探测样品表面物理或化 学性质的一种显微镜。利用 SPM 可以在纳米尺度 上获得样品的表酣特征，但无法探测样品表面以下 的内部结构信息和弹性特性。如果将声学检测技术 与 SPM 结合，构成扫描探针声显徽镜(scanning probe acoustic microscope. SPAM).就可对样品表面及内部 结构进行纳米量级的显微分析，从而在保证高分辨 蒂的条件下，检测导电或非导电材料表面、亚表固和 内部不同深度的各类微小缺陷，分析样品的弹性、电 特性等，可广泛应用于研究集成电路微结构、材料微 结构、生物细胞结构、不透明材料内部和生物距学中 的活体检测等。 SPAM 是在 SPM 的基础上发展起来的，迄今为 止，得到成功应用的 SPAM 主要有扫描隧道声显微 收稿日朔 :2∞7-07-05;修订日朔 :2翩。1-06 .金项罔:国家自然科学1基金资助项目 (No .10427,,1) . 川、AM) 。近年来美国波特兰国立大学的La Rosa 、 Cuí 和Li等人正在研究基于近场光学显微镜的剪切 力商显微镜( Shear品rce ultrasonic niicroscope) ，预计 可用于滑动摩擦学、流体学等方面的研究，但目前这 类商1il微镜的研究尚处于探索阶段，还没有得到实 际的扫描图像口，410 1 扫描隧道声显微镜(STAM) 扫描隧道声显微镜是在扫描隧道显微镜 (scanning tunneling microscope , STM)基础上发腾起来 的。它的结构原理如阁 l 所示:利用扫描隧道显做 镜的针尖与被测样品间的相互作用，使样品表面产 生形变:这种形变以南被形式穿透样品后，由帖贴在 样品背面的压电传感器接收;通过来集声被倍号的 幅度、相位等信息，可以按得样品表面形视及弹性特 性等。 STAM 在保持 STM 高分辨事的基础上，怪可 以用于非导电材料的研究，拓展了 STM 的应用领 域[MO 针对不同的样品，扫描隧道声显微镜可以采用 两种工作模式，即针尖激励模式 (T.STAM)和扫描器 激励模式( S-STAM) 。 对于导电样品，除了可以果用扫描器撒励模式 外，还可以采用针尖激励模式，此时 STM 工作在常 规模式。首先让探针接近样品到某一位置，然后在 针尖和样品之间加-i[弦调制倩号;此时由于针尖 F刷刷刷刷 ltem: National Natural Science Foundation of China( No.1ω27，，1) . 你翁简介:点在玲(1983 -)，女(汉族)，硕士