扫描质子微探针扫描系统优化与分辨率测量.pdfVIP

第 30 卷 第 1 期 核 技 术 Vol. 30, No.1 2007 年 1 月 NUCLEAR TECHNIQUES January 2007 —————————————— 中国科学院知识创新工程项目（KJCX2-SW-N01）、国家自然科学基金重大项目、国家自然科学基金（NNSFC资助 第一作者：刘江峰，男，1970 年出生，1993 年毕业于华中师范大学物理系，信阳师范学院讲师，现为在职博士研究生，从事核技术应用研究 通讯作者：李 燕 收稿日期：2006-05-17，修回日期：2006-07-11 扫描质子微探针扫描系统优化与分辨率测量 刘江峰 1,2 岳伟生 1,2 万天敏 1,2 程 硕 1,2 李晓林 1 张桂林 1 李 燕 1 1（中国科学院上海应用物理研究所 上海 201800） 2（中国科学院研究生院 北京 100049） 摘要 介绍了中国科学院上海应用物理研究所扫描质子微探针（Scanning Proton Microprobe，SPM）扫描线圈 的改进与系统扫描分辨率的测试，设计了匝数可调的空心马鞍形扫描线圈，通过以单片机为核心的遥控系统 来实现线圈匝数的调节和线圈的过载保护；给出了改进后 SPM 的扫描图像分辨率的测量计算方法以及测量结 果，并初步研究了四膜虫和单颗粒大气气溶胶的元素分布。 关键词 扫描质子微探针，扫描线圈，分辨率 中图分类号 TL503 扫描质子微探针（Scanning Proton Microprobe， SPM）是一种常用的分析工具，通过将聚焦的质子 束在样品上扫描辐照，检测由质子在样品上激发的 特征 X 射线，可以得到 PPM 级检测灵敏度的二维 元素分布图。虽然通过样品的移动可以实现质子束 在样品上的扫描，但这种扫描方式需要用非常精确 的机械机构，而且扫描速度也远低于通过电场或磁 场偏转质子束的扫描方式。电场扫描可以有较高的 扫描频率，但需要将偏转电极放在真空室内，不利 于散热，且相距很近的两对偏转电场易于产生干扰， 同时安装和调节都有诸多不便。磁场偏转高频扫描 有较大的困难，但扫描线圈可安装在束线管道之外， 调节和维护方便。虽然偏转质子束使束流在样品上 不同区域的入射角度有微小的变化，同时也造成一 定的散焦，但在扫描范围小于 1mm×1mm的情况下， 这些不利因素是可以接受的[1]。本文介绍一个采用 磁场偏转扫描的系统。 扫描线圈在束线上的放置区域通常有三种选 择，分别是物孔与透镜之间（前置）、透镜内部或透 镜与像平面之间（后置）。前置方式安装方便，且由 于线圈和样品之间距离大，易于实现大范围扫描； 但扫描使束流偏离透镜轴心，使聚焦效果变差。采 用后置方式通过透镜轴心的束流不受任何偏转，聚 焦不受影响；该方法的缺点是透镜和靶室间狭小的 空间限制了线圈的大小；同时线圈距像平面的距离 小，可实现的扫描范围也相对较小。所以有人就采 用了折中的方式，将扫描线圈放在聚焦四极透镜内 部[1,2]，但由于实现起来难度较大而收效甚微，所以 很少被采用。近年来上海应用物理研究所 SPM 系统 主要用于大气气溶胶单颗粒及细胞等微米量级样品 的研究，对扫描分辨率的要求高，而对扫描范围的 要求较低，所以我们设计了空心的马鞍形扫描线圈， 并采用了后置方式。该线圈电感只有 0.8 mH，扫描 范围 760 μm×900 μm 时扫描频率可达 1000 Hz。 1 上海应用物理研究所扫描质子微探针系 统 上海应用物理研究所扫描质子微探针系统建立 在由美国国家静电公司生产的 4UH 型低能粒子加 速器上。微探针系统的四极电磁铁聚焦透镜的光学 平面距物孔 8 m，距试样表面约 0.4 m，物孔在 10—300 μm 范围内分级可调。靶室装有一 Au(Si) 面垒探测器用于探测散射粒子；另有一 Si(Li)探测 器用于 X 射线探测。系统原有的扫描线圈采用前置 方式，线圈匝数可以通过手工接线进行调节，扫描 范围可达 3mm×3mm。由于该 SPM 的数据获取系统 直接从扫描信号发生器的 DAC 级电路前获取数字 的扫描位置信号，而该带有铁芯的线圈电感较大(40 mH)，在三角波电压信号驱动下，扫描频率高于 10 Hz 时，线圈中的电流与数据获取系统获得的扫描位 置信号间有附加的相位差，使获到的图像出现重影 甚至是多个图像；而且在三角波电流信号驱动下扫 描时易于出现振荡，加衰减电阻又使现有的扫描输 出功放（由 MURRI531 改装）难以承受负载；另外， 22 核 技 术 第 30