步进扫描光刻机远程控制器采样同步时钟技术.pdfVIP

滋海鸿号手自步占世f吁描光声l饥涵辍胶制将采悴I叶步日才钟技术 步进扫描光刻机远程捕制器果样同步时钟技术① 潘海鸡②费问 学小?奇装 周放飞仇 杨尧尧‘ (精华中科技大学机械科学与工稳学院 武汉 43∞74) C 广西大学机械工辍学院 南宁 53α)()iI) 摘 要 为实现 1∞run 步进扫描光刻机的运动控制精度，需要硅片台掩膜台系统的远程 采样控制器的采桥时钟满足微秒级同步要求。为此采用由同步动作控制 ~(SAC)发起网 步信息，经自定义同步信号总线 (SSB)传输，在各分散数字运动控制器中产生采祥同步时 钟的报构 c 提出采用现场可编程门陈列 (FPGA)硬件完成光纤通信底层协议，引入信号传 输优先级管现机制，实现采样阔步时钟经各分散控制子系统的光纤通道传输到远程采样 校带;J~的一致性，减少由标准光纤通信协议引起的额外时间开销。估算和实验结果表明: *祥同步时钟传输延时约为 0.55阳，各分散按市l 子系统的远程采梓校制~接收刻采祥同 步时钟的时声是不确定性小子 ω阳。该*样闵步时钟传输技术已成功应用子高速纳米级步 进扫描光刻机系统c 关键i向 步进扫描光刻机，分散校制系统，采样阔步时钟，光纤通信传输 。引 光刻技术是 IC 创造巾最为关键的环节， jfij步赴 扫描光刻机是这 环节巾的关键设备。从电气校制 结构角度看 ，}?j韭扫描光刻机工件台掩膜台控制系 统经多控制l榕的实时分散控制系统(Dι川，从曝光 扫描按制角度看，在lii片曝光过程巾，在同步时钟驱 动下.在每个采样周期内，要求所有参与曝光扫描运 动的子系统严格同步完成伺服运动驱动、实时位置 信号采样以及状态信息的判断与处理，这就意味着- t件台It且要台控制系统又经…个集市控制系统 (CCS)ω 由此可见，步进扫描光刻机是…商精密实 时分散控制系统。 iE磁片曝光扫锹过浪中，有大量的实时位呈是数 据、状态信息等在子系统以及各分散子系统之间准 确元误地快速传输。夜1常精辛苦fJ;;盘扫f陆运动校制系 统中.若采样问步信号、f金;量采样信号或伺服控制信 号在传输过穆巾受到千扰，将会降低工件台能脱台 运动精度，近百ií余降低磁片的曝1M贯簸们此外， IC 加工过税中，重要求光刻机长时间不间断地?E常运 行，阴阳对信号。J罪传输的要求很苛刻c 在这种情 况 f ，与筷子咆成线缆为接口的嗷据传输方式中目比， 3辈子光纤数据通信的传输方式具有许多优点r I ,21. 完余也气隔离;光纤介质元糕射:不受外电半扰的影 响;具有爵的数抵输送能力等。采用光纤为介股后， 与Efl，~曾兼容除有关的主要问题(州电磁辐射.I?弧、 静电、接地环路、接地偏移、#事移电流等)就不存在。 因此，本文提出，采用光纤通信作为步改归他校1!íIJ系 统的数据传输徽路.用现场lil 编程门阵列(F1GAJ硬 件究成光纤通信底:协议，别人俗号传输优光级管 理机制，实现采桥附 1p时钟经各分散控制子系统的 光纤通道传输到远程采样控制器的…致性。 1 采样同步时钟分配及传输架构 问1p扫描运动控制;是步进扫描光亮IJ机的关键技 术r3，4、。在胶片曝光扫描过程中，有众多子系统需 要同步协调工作，其中工件台掩腹台的问步协调运 动最为关键3 工件台掩且要台同步运动误象将会严重 影响胶片的曝光质戴[坷。在分散校制系统中，产生 问步运动误兹的主要耳因素之一是各r系统采样时钟 的问 1Pl虫 [5; 纳米级运动精度的步进拘捕光刻制L:ff f藏高速|白lLT扫愤i运动阶段，对.T件f?饰自尊台的多轴 激光{肯移浏览去采桥附♀中|可ff快要~~技更加严格16J. )，盖 子上述分析(J知，采样问步时钟是接个去告迁H-1 f自光 CD 因事 863 重大科技守项(互J02AA咄蛐j资助项目 D !z 斟 .1蝇6 年尘，悔土生.研究如向 1 商i直商精运动控制、数位技术、IC 装备研堂、嵌人控制系统;联草人.E-n皿1: hustphh@163.com (~稿日剿.血007.{l和 ll) 1147 一 高技术通讯 2∞7 年 11 月第 17 卷第 11 期 3剪刻引刘j机运动系统的指挥棒 结构、传输方式』反主时I延蓝者郁E会影响系统的稳定性飞i运丢动 输架构ο 精度和位竞阔步误差[3 ， 5-8Jη 闷此， J二件台钝月革台校 3夜其他量事堪动 控制司liUi编 翩 1 ~在样阔步时钟的产生、分配和传输架构及光纤通信结构朦蟆阁 采#羊肉 !t触发{百号是fí!网 tt 动作控制4t~(SAC) 发起阔步信息，经同步信号总线(5S日)同时传输给各 个数字运动校制器16c 在E辛辛分散数字运动控制器中 产线采样向主任时钟{商号 ，fii得绞肉元主略行光纤j威信 锵赂(栅SL)传送到ili;梭的各类校制苦苦(创扬