第5章 压电式传感器例析.pptVIP

第5章 压电式传感器力F 电荷Q 5.1 压电式传感器的工作原理 5.2 压电材料及其压电机理 5.3 压电元件常用的结构形式 5.4 压电式传感器的信号调理电路 5.5 压电式传感器的应用 第5章 压电式传感器 ?压电式传感器转换原理：压电效应； ?压电材料：石英晶体(SiO2)和压电陶瓷多晶体； ? 压电敏感元件是力敏元件，典型的双向传感器； ?压电式传感器特别适合于动态测量； ? 主要缺点：无静态输出，输出阻抗高，需前置放大级。 5.1 压电式传感器的工作原理 1．压电效应 某些单晶体或多晶体陶瓷电介质，当沿着一定方向对其施 力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个对 应晶面上便产生符号相反的等量电荷，当外力取消后，电荷 也消失，又重新恢复不带电状态，这种现象称为压电效应(见 图5-1）。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随着改变。 相反，当在电介质的极化方向上施加电场(加电压)作用时， 这些电介质晶体会在一定的晶轴方向产生机械变形，外加电 场消失，变形也随之消失，这种现象称为逆压电效应(电致伸 缩)。具有这种压电效应的物质称为压电材料或压电元件。压 电式传感器是双向传感器。常见的压电材料有石英晶体和各 种压电陶瓷材料。 5.1 压电式传感器的工作原理 2．压电方程 压电材料的压电特性常用压电方程来描述： 　　　　qi=dij?j 或 Q=dijF 　 　 　　　　(5-1) 式中，q—电荷的表面密度(C／cm2)； Q—总电荷量（C）； ?—单位面积上的作用力，即应力(N／cm2); F—作用力（N）； dij —压电常数(C／N)，(i=1，2，3，j =1，2，3，4， 5，6)。 5.1 压电式传感器的工作原理 压电方程中下角标i表示晶体的极化方向。当产生电荷的表 面垂于x轴(y轴或z轴)时，记为i=1(或2或3)。 下角标j=1，2，3，4，5，6，分别表示沿x轴、y轴、z轴方 向的单向应力和在垂直于x轴、y轴、z轴的平面 (即yz平面、 zx平面、xy平面)内作用的剪切力。 单向应力的符号规定拉应力为 正，压应力为负；剪切力的符号 用右螺旋定则确定。图5-2表示了 它们的方向。另外，还需要对因 逆压电效应在晶体内产生的电场 方向也作一规定，以确定dij的符 号，使得方程组具有更普遍的意 义。当电场方向指向晶轴的正向 时为正，反之为负。 图5-2 压电元件的坐标系表示法 5.1 压电式传感器的工作原理 当晶体在任意受力状态下产生的表面电荷密度可由下列方 程组决定： 　　　　　(5-2) 式中，q1、q2、q3－垂直于x轴、y轴、z轴的平面上的电荷面 密度；?1、 ?2 、 ?3—沿着 x轴、y轴、z轴的单向应力； ?4 、 ?5 、 ?6—垂直于x轴、y轴、z轴的平面内的剪切应力； dij(i＝1，2，3，j＝1，2，3，4，5，6)—压电常数。 压电材料的压电特性的压电常数矩阵： 5.2 压电材料及其压电机理 5．2．1 石英晶体 压电材料可以分为两大类：压电晶体(单晶体)，压电陶瓷 (多晶体)。 1．压电效应 图5-3所示为天然石英单晶体结构，属正六面体。 5.2 压电材料及其压电机理 石英晶体的正交晶系： Z-Z轴——光轴，该轴方向无压电效应和无双折射现象； X-X轴——电轴，垂直于此轴的棱面上压电效应最强； Y-Y轴——机械轴，在电场作用下，沿该轴方向的机械变 形最明显。机械轴Y-Y方向具有“横向压电效应”，而沿光轴 Z-Z方向受力时不产生压电效应。 通常把沿电轴X-X方向的力作用下产生电荷的压电效应称 为“纵向电压效应”，而把沿机械轴Y-Y方向的力作用下产生 电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 5.2 压电材料及其压电机理 从晶体上沿轴线切下的薄片称为压电晶体切片，如图5-3(c) 所示。当晶片在沿X轴方向受到外力Fx作用时，晶片将产生 厚度变形，并产生极化现象，在晶体线性弹性范围内，极化 强度Px与应力?x(= Fx /lb)成正比，即 (5-4) 式中，Px—沿晶轴X方向施加的作用力；d11—压电常数；l， b—石英晶片的长度和宽度。 而极化强度Px等于晶体表面的面电荷密度，即 (5-5