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光栅位置检测系统及原理 2009年10月22日 ?? 光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置，有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密，两刻线之间距离(称为栅距)在0．002~0.005mm之间，它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗，栅距在o．004～0.025mm之间，在数字检测系统中，通常用于高精度位移的检测，是数控系统中应用较多的一种检测装置 尤其是在闭环伺服系统中。? 光栅位置检测装置由光源、长光栅(标尺光栅、短光栅(指示光栅)和光电元件等组成（见图3—23)。 ? 按照不同的分类方法，计量光栅可分为直线光栅和圆形光栅；透射光栅和反射光栅；增量式光栅和绝对式光栅等。本节仅介绍直线光栅。??? 根据光栅的工作原理分直线式透射光栅和莫尔条纹式光栅两类。一。直线式透射光栅? 在玻璃表面刻上透明和不透明的间隔相等的线纹(即黑白相问的线纹)，称为透射光栅。其制造工艺为在玻璃表面加感光材料或金属镀膜上刻成光栅线纹，也可采用刻蜡、腐蚀或涂黑工艺。透射光栅的特点是：光源可以采用垂直入射光，光电接收元件可以直接接收信号，信号幅值比较大，信嗓比高，光电转换元件结构简单。同时，透射光栅单位长度上所刻的条纹数比较多，一般可以达到每毫米100条线纹，达到0．01mm的分辨率，使检测电子线路大大简化。但其长度不能做得太长，目前可达到2m左右。? 如图3—24所示，它是用光电元件把两块光栅移动时产生的明暗变化转变为电 流变化的方式。长光栅装在机床移动部件上，称之为标尺光栅；短光栅装在机床固定部件上，称之为指示光栅。标尺光栅和指示光栅均由窄矩形不透明的线纹和与其等宽的透明间隔组成。当标尺光栅相对线纹垂直移动时，光源通过标尺光栅和指示光栅再由物镜聚焦射到光电元件上。若指示光栅的线纹与标尺光栅透明间隔完全重合，光电元件接收到的光通量最小。若指示光栅的线纹与标尺光栅的线纹完全重合，光电元件接收到的光通量最大。因此，标尺光栅移动过程中，光电元件接收到的光通量忽大忽小，产生了近似正弦波的电流。再用电子线路转变为数字以显示位移量。为了辨别运动方向，指示光栅的线纹错开1／4栅距，并通过鉴向线路进行判别。??? 由于这种光栅只能透过单个透明间隔，所以光强度较弱，脉冲信号不强，往往在光栅线较粗的场合使用。二?? 奠尔条纹式光栅??? 如果使两片光栅靠近并稍有倾斜时，在和光栅垂直方向上可以看到非常粗大的条纹，这就叫做莫尔条纹。莫尔条纹式光栅实质上是一种增量式编码器，它是通过形成莫尔条纹、光电转换、辨向和细化等环节实现数字计量的。? 1．莫尔条纹的形成? 如图3—25所示，两块栅距d相等，黑白宽度相同的光栅，在沿线纹方向上保持一个很小的夹角θ，当它们彼此平行相互接近时，由于遮光效应或光的衍射作用，便在暗纹相交处形成了多条亮带。形成亮带的间距w与线纹夹角θ的关系为 ??? 莫尔条纹垂直于两块光栅线纹夹角θ的平分线，由于θ角很小，所以莫尔条纹近似垂直于光栅的线纹，故称为横向莫尔条纹。当两块光栅沿着垂直于线纹的方向相对移动时，莫尔条纹沿着垂直干线纹的方向移动。移动的方向取决于两块光栅的夹角θ的方向和相对移动的方向。莫尔条纹有以下几个重要特性：??? 1)平均效应莫尔条纹是由大量的光栅线纹共同作用产生的，对光栅的线纹误差有平均作用。从而可以在很大程度上消除光栅线纹的制造误差。光栅越长，参加工作的线纹越多，这种平均效应就越大。??? ? 2)对应关系如图3—25所示，当光栅l向右移时，莫尔条纹也向下移动，即光栅移动一个栅距d，莫尔条纹移动一个栅距d。? 3)放大作用由式(3—12)可知，如果两块光栅的夹角θ很小，则莫尔条纹之间的距离w将远大于光栅的栅距d，所以莫尔条纹起到了放大作用。这使得读取莫尔条纹的读数比读取光栅线纹的读数方便得多。如果栅距d=o．01mm，两块光栅的夹角θ=o.001md，则w=10mm，其放大倍数为1000，因而大大地减轻了检测电子线路的负担。当θ接近于0时，莫尔条纹的宽度w大于或等于干涉面的宽度。此时，如果两个光栅相对移动，干涉面上看不到明暗相间的条纹，只能看到亮带和暗带相互交替地出现。这时的莫尔条纹犹如一个闸门，故称为光纹莫尔条纹。按照这种原理制成的光栅检测元件，通常称为光电脉冲发生器。? 2．光电转换? 光栅检测系统的光电转换转由光栅读数头完成。最基本的光栅读数头由光源、聚光镜、指示尺光栅和硅光电池组成，如图3—26所示。 ? 为了便于说明其工作原理，以光闸莫?? 尔光栅为例，说明当光栅移动一个栅距?时．其输出波形和两块光栅相互位置变化的关系。如前所述(见图3—25)，当两块光栅的刻线重合时，透光最多，光电池输出的电压信号最大；当光栅l向右移动半个栅距时，两块光栅的暗线