《地球科学测试技术》第三章 EMPA.pptVIP

第二章 电子探针（EMPA）-矿物主量元素分析 1. 电子光学系统 2. 样品台 3. 光学显微镜 4. 晶体分光系统 5. 真空系统 6. 放大与记录系统 1、电子光学系统 主要作用是产生一直径为100埃到几百微米的高速电子束，使之轰击样品产生各种信息，以供分析。 电子枪：产生具有足够亮度和速度的电子束。 电磁透镜：分聚光镜和物镜。聚光镜是控制束流和缩小电子束的直径，使电子枪发射出来的直径为20-50微米的电子束缩小成几十分之一至一百几十分之一。物镜也可将电子束缩小，但主要是调节电子束的焦距，使之聚焦于样品上。 扫描线圈、光阑和消象散器：扫描线圈能使电子束在样品表面进行扫描，电子束可在样品表面X、Y轴方向进行面扫描和线扫描。光阑的作用是用于挡住部分电子束，使电子束的直径变小，同时亦可减少电子束的色差。消象散器用于电子束的象散调节，以获得图象。 2、样品台 又叫样品室，放置测试样品和标准测试样，可在X、Y、Z三轴方向调节，选择待测微区。 3、光学显微镜 用来寻找选择待测矿物和微区，一般在常规显微镜下圈定好待测矿物或区域。 4、晶体分光系统 对样品发射的特征X射线进行检测，一般有2-4块分光晶体供选用 5、真空系统 为减少空气对X射线的吸收，工作时电子显微镜和样品室应处于高真空状态 6、放大与记录系统 检测器输出信号送入放大器及信号处理系统，最后打印出