step简易操作方法-微奈米中心.doc

表面粗度儀Alpha-Step Profilometer SOP 本資料之電子檔案已公開於南台灣奈米科技研究中心網站置放於儀器旁之無塵紙版本係為中心財產請勿任意攜出 ?-step 簡易操作方法 ◎簡單操作原理 ?-step 500，其掃描原理為內部有一感應器可以清楚的紀錄每一水平掃描的點之數值，並且將其數據轉換成圖形以供參考使用！ ◎簡單操作步驟 刷卡開螢幕，確定探針高度約-75.3的位置. 將試片放置機台上，並旋入探針光源下(注意：探針下針，必須要在試片表面上) 按下鈕,機座上升，直至試片碰觸探針頭後停止，再將探針往上跳升一下（避免因為調整試片時候磨損探針頭） 圖3.1探針下降至樣品表片 於機座的左下方有兩各旋鈕，其中： a：x stage control knob是調整x軸方向即調整左右 b：是調整y軸方向即調整上下，則利用此兩旋鈕將試片旋至 欲測之區域 按【ESC/MEANU】鍵，設定參數 A.RECIPE VIEW/MODIFY 設定水平與垂直參數 ※水平參數： 1.Horizontal Units：Metric/English（單位） 2.Scan Length：欲掃描長度之設定 3.Scan Speed：欲掃描探針速度之設定 4.Scan Time：掃描時間（Length/ Time） 5.Sampling Rate：取樣頻率（每秒探針所掃的次數） 6.Horiz. Resol.：解析度；即探針每秒所掃之長度/Sampling Rate，亦即每次之間的距離間隔（當間隔越小，所測的數值愈準確） 7.Direction：欲掃描之方向 ：由左到右 ：由右到左 ※垂直參數： 1.Vertical Units：Metric/English（單位） 2.V. Range/Resol.：欲掃描之試片高度差之範圍選擇 a.13?m/1A：此選擇可測為試片的高度在6.5?m內 b.300?m/15A：此選擇可測為試片的高度在300?m內 3.Profile Type：掃描之後顯示的圖形 a. ：適合任何高低起伏的形狀（建議使用） b. ：只適合掃凸起物 c. ：只適合掃凹下物 4.V. Display Scale：顯示圖形的尺寸大小，選AUTO（建議值） 只能動水平與垂直參數其它都不能任意變更 6. 按【Z-?】鍵，回主畫面；再確定一次欲量測之區域 按【Start】鍵 若掃的過程中有任何問題按下【Stop】鍵停止 圖6.1座標顯示掃描資料 掃描之後其圖形，一般為階梯狀，但可能為出現下面圖形，其原因為掃描平台有微小傾斜，因此需做校正，其步驟為： 按【Level】鍵 按空白鍵選取一段平的地方 再按一次【Level】鍵即校正完畢 待校正完畢之後，即出現下面之圖形： 利用空白鍵移動選取欲測之區域，如上圖其【高度】為【L】與【G】兩條虛線的高度差，顯示於右手邊的【Height】，此即為我們所欲量測的高度值。 【Width】表兩條虛線的寬度值 上圖之右下角【Recipe】表我們所設定的參數值 若欲放大則按【Zoom】鍵 按【F1】定住，此時仍可加大長寬 再按【F2】即可以放大；按【F3】可回覆原來之圖形 欲存所量測得之圖形，其方法為： a.按【ESC】到主選單 再選【Config】 選【Setting】 將【Save Data in ASCII】那欄改成【Enable】 再到主選單【DATA】 【VIEW】 b.此時會出現要求你輸入檔名的畫面，輸入你所需的檔名即可 c.當檔案儲存完畢之後，其附檔名為.TXT文字檔案 此檔案為數據檔，可依其所得之數據繪畫成所量測之圖形 此儲存功能開啟時候，每轉換一個畫面皆可以讓你儲存成.TXT檔案 10.當使用完畢時，需注意： a.需將【Save Data in ASCII】那欄改成【Disable】，若未更改的話，每次操作此機台時機台都會顯示出如右下圖的對話框 b.將探針歸回到原來高度【-75.3】 c.刷卡關機 NCKU STNRC Center at NCKU Page7 本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Taiwan Nanotechnology Research Center. You are very w