真空磁过滤电弧离子镀法制备D4膜的机械性能,.pdfVIP

第 ! 卷 第 ! 期 #$$% 年 % 月 实 验 力 学 ’()*+,’-./0.)12.*3+,2.45+*146 789:! *8:! ;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;; 2=:#$$% 文章编号 !$$!?@A#$$%B$!?$$$!?$C 真空磁过滤电弧离子镀法 制备 D,4 膜的机械性能 E 张泰华! F 郇 勇! F 王秀兰# A!: 中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室 F 北京 !$$$$G#: 航天材料及工艺研究所 F 北京 !$$$HIB 摘要 采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在 J4=! 和 @$4=*K28 钢上沉积厚约为 $:#LM 的类金刚石 AD,4B 膜 : 为了检测成膜质量 F 分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表 征钢基材和 D,4N 基材的机械性能 : 对这种亚微米厚的膜 F 纳米压痕技术和纳米划痕技 术能提供丰富的近表面的弹塑性变形 O 断裂和摩擦等的信息 : 同 D,4N@$4=*K28 相比 F D,4NJ4=! 的硬度高和固体润滑效果显著 FJ4=! 是较为理想的基体材料 : 关键词 真空磁过滤电弧离子镀 GD,4 膜 G 纳米压痕 G 纳米划痕 G 固体润滑 中图分类号 3P!H@:@@@G’@@ 文献标识码 + 类金刚石碳膜 AQKM8RQ9