内层对位精度幻灯片.pptVIP

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2017-04-18 发布于北京
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内层对位精度幻灯片.ppt

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A00制程對位介紹審核﹕ 制作 :CCP12 張迎賓;PCB板CCD靶點;沖孔機對位方式;A0IVRS 對位方式; A90 AOI VRS 對位系統，利用三點對位進行對位，CCD 光學鏡頭將母板三個靶點坐標，與測試板三個靶點，進行比較并進行角度和距離的調整。;於target training時記憶該靶點之面積 ;打靶機對位系統介紹;打靶機對位方式;MD: PCB板經過壓合後，兩個靶點之間的實際距離 HD: 實際打靶機鑽頭在PCB 板靶點處鑽孔的中心距離打靶機機械鑽孔精度為 0.8mil，故HD 值僅與設定打靶尺寸相差鑽孔機械精度，而MD 包含有壓板漲縮值，通常HDI板打靶控制在6mil，PCB 板打靶值控制在8mil.;(X1,Y1); 7000曝光機對位系統; 7000曝光機對位系統; 7000曝光機對位系統; 1350曝光機對位系統;1.記憶底片靶點：曝光光源照射底片，使靶點投影於stage上，再以CCD讀取並記憶底片靶點位置 ;基板靶位與記憶靶點對位：關閉曝光光源，移入基板，以CCD上方光源照明並讀取基板上之靶點，並與記憶之底片靶位進行對位 ; 1st ) Get the absolute position of Mask mark. Camera1 : (MX1, MY1) = (CX1, CY1) Camera2 : (MX2, MY2) = (CX2, CY2) 2nd ) Get the absolute position of Panel mark. Camera1 : (PX1, PY1) = (CX1 + X1, CY1 + Y1) Camera2 : (PX2, PY2) = (CX2 + X2, CY2 + Y2);Get rotation angle;Get DX DY;Action of alignment;4 targets alignment;Pitch Error;XY?;X+?X, Y+?Y;Xn, Yn;Xn, Yn circle;Reference pin; 鑽孔機對位系統; 鑽孔機對位系統; 雷射鑽孔機對位系統