【课件】传感器与检测技术谐振式传感器讲解.ppt

谐振式传感器是直接将被测量变化转换为物体谐振频率变化的装置，故也称为频率式传感器。 谐振式传感器因输出为频率信号而具有高精度、高分辨率、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接的优点；又因无活动部件而具有高稳定性和高可靠性，并可能制造出精度极高的传感器(目前可以做到精度超过万分之一)。;它的缺点是，要求材料质量较高，加工工艺复杂，所以生产周期长，成本较高；另外，其输出频率与被测量往往是非线性关系，需进行线性化处理才能保证良好的精度。 谐振式传感器的种类很多，按照它们谐振的原理可分为：电的、机械的和原子的三类。本章只讨论机械式谐振传感器。 机械式谐振传感器将被测量转换为物体的机械谐振频率，其中振动部分被称为振子。这种传感器可以测量力、压力、位移、加速度、扭矩、密度、液位等。它主要用于航空、航天、计量、气象、地质、石油等行业中。 ;拓展 ：频率式数字传感器;拓展 ：弹性振动体频率式传感器; 一、机械式谐振传感器基本原理 振子即机械振动系统的谐振频率f 可近似用下式表示 (10-1) 式中：k ──振子材料的刚度； me──振子的等效振动质量。;可见，振子的谐振频率f 与其刚度 k 和等效振动质量me有关，设其初始谐振频率为f0。 那么，如果振子受力或其中的介质质量等发生变化，则导致振子的等效刚度或等效振动质量发生变化，从而使其谐振频率发生变化。这就是机械式谐振传感器的基本工作原理。但应注意，变化之间的关系一般是非线性的。 ;要使振子产生振动，就要外加激振力(激振元件)，要测量振子的振动频率则需要拾振元件，它们之间的关系如图10-1所示。由激振元件激发振子振动，由拾振元件检测振子的振动频率，另外将此信号经放大后输送到激振元件中形成闭环系统，以维持振子持续振动。 ;二、类型 振子可以有不同的结构形式，图10-2所示为常见的a张丝状、b膜片状、c筒状、d梁状等。因此相应的有振动弦式、振动膜式、振动筒式、振动梁式等谐振??感器之分。 ; 通常振子的材料采用诸如铁镍恒弹合金等具有恒弹性模量的所谓恒模材料。但这种材料较易受外界磁场和周围环境温度的影响。而石英晶体在一般应力下具有很好的重复性和最小的迟滞，更主要的是其Q值极高，并且不受环境温度影响，性能长期稳定。因此利用石英晶体具有稳定的固有振动频率，当强迫振动频率等于其固有振动频率时，便产生谐振这一特性，采用石英晶体作为振子可制成性能更加优良的压电式谐振传感器。 ;第二节 特性和设计要点　 　　　 一、振弦式谐振传感器特性 　　 对于图10-2 a所示的振弦式传感器，当振弦受张力T作用时，其等效刚度发生变化，振弦的谐振频率f 为 ;当弦的张力增加 T 时，由式(10-2)可得弦的振动频率f 为 ;为了得到良好的线性，常采用差动式结构，如图10-3所示。上下两弦对称，初始张力相等，当被测量作用在膜片上时，两个弦张力变化大小相等、方向相反。通过差频电路测得两弦的频率差，则式(10-3)中的偶次幂项相抵消，使非线性误差大为减小，同时提高了灵敏度、减小了温度的影响。 ;对（10-2）　　　　　　　　两边求导;三、振筒式谐振传感器特性 　　　 对于图10-2 c所示的振筒式传感器，当筒受压力差p作用而引起筒上的应力发生变化时，其等效刚度发生变化，振筒的谐振频率f变化。根据材料力学可知，振动频率与压力的关系一般可以表示成下式;当系数a和b满足条件a=2/(Bf0)和b=1/(Bf02)时，由上式可得;由 得;第三节　转换电路 谐振式传感器转换电路就是将与被测量有确定关系的振子谐振频率转换成电信号的电路。 振子起振需要足够的激励力；空气阻尼等影响致使振子振动是衰减的，则需要一定的激励力来维持振子振动。 因此，转换电路中首先应有激振环节。按激励信号产生的方式可将转换电路分为开环式和闭环式两种。 前者是由一单独的信号发生器产生激励信号，后者是由测量信号通过反馈环节产生激励信号。;一、开环式转换电路 这种电路也称为间歇激励式电路，用于振弦式传感器，其原理如图10-7所示。 当张驰振荡器给出激励脉冲时，继电器吸合，电流通过磁铁线圈，使磁铁吸住振弦。脉冲停止后松开振弦，振弦便自由振动、与线圈磁铁的间隙就周期性地变化，在线圈中产生感应电动势并经继电器常闭接点输出。感应电动势的频率即为振弦的固有频率。;由此可见，线圈兼有激励和拾振两种作用。当然，也可同时放置两个线圈，一个只是用于