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PAGE \* MERGEFORMAT9 专业导论论文-微电子技术 学 院 自动化学院 专 业 电子信息科学与技术 年级班别 2014级（1）班 学 号 3114001343 学生姓名 麦永轩 2014年 12月 目 录 1 绪论 3 1.1 微电子技术的基本概念 3 2 一般理论、技术及应用 3 2.1 小型化集成系统 3 2.2 纳米电子学 3 2.3 高密度电子组装技术 3 2.4 微电子技术 - 通信技术 4 3 微电子技术的发展限制 4 3.1 基本物理规律的限制 4 3.2 材料方面的限制 4 3.3 工艺技术方面的限制 4 3.4 电路与系统方面的限制 4 3.4.1 互连引线问题 4 3.4.2 可靠性问题 4 3.4.3 散热问题 4 4 微电子技术的发展前景和趋势 5 5 结语 6 绪论 微电子技术的基本概念 微电子技术是建立在以 HYPERLINK /view/1355.htm \t _blank 集成电路为核心的各种 HYPERLINK /view/3130851.htm \t _blank 半导体器件基础上的高新电子技术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。 微电子技术，顾名思义就是微型的电子电路。它是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来的,其核心是集成电路,即通过一定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互联,采用微细加工工艺,集成在一块半导体单晶片上,并封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能。与传统电子技术相比,其主要特征是器件和电路的微小型化。它把电路系统设计和制造工艺精密结合起来,适合进行大规模的批量生产,因而成本低,可靠性高。它的特点是体积小、重量小、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。它包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,是微电子学中的各项工艺技术的总和。 随着科技??迅猛发展，信息技术，电子技术，自动化技术及计算机技术日渐融合，成为当今社会科技领域的重要支柱技术，任何领域的研发工作都与这些技术紧密联系，而他们的相互交叉，相互渗透，也越来越密切。作为信息科技的前沿应包括下面一些内容：微电子学与纳米电子学；RISC精简指令系统与并行计算技术；Multimedia（多媒体）与Virtual Reality（虚拟现实，（又称灵境）技术；软件工程、CASE软件工程开发环境以及根据人的一般思维方法和认知过程去开发的面向对象的软件技术；自动控制（除了第一、第二代控制理论及系统外，还有模糊控制、人工智能、神经网络的理论与系统等），最后是与近代通信相关的科技…… 一般理论、技术及应用 小型化集成系统 集成电路的大生产水平发展也很快。1995年已经达到了61.2um的水平，IC产量到2000年可望达到年产10亿块。1995年4月，中科院微电子中心已开发出0.8um的CMOS工艺，在5.0×5.7mm 面积上集成了26000只晶体管、输出管脚数为72，制成了通用的模糊控制集成块。 纳米电子学 近几十年来，电子计算机已历经了几代的更迭，而代代更迭都是以存储或处理信息的基本电子学单元的尺度变化为标志的。从80年代开始，科学家开始探索特征尺寸为纳米量级的电子学，纳米电子学主要研究以扫描隧道显微镜为工具的单原子或单分子操纵技术。这些技术都有可能在纳米量级进行加工，目前已形成纳米量级的、信息存储器，存储状态已维持一个月以上，希图用此技术去制作16GB的存储器。德国的福克斯博士等制出了原子开关，达到了比现今芯片高100万倍的存储容量，获得了莫里斯奖。量子力学告诉我们，电子与光同时都具有粒子波的特性，今天的微电子学和光电子器件将缩到。0.1线宽，电子的波动性质再也不能忽视，把电子视为一种纯粹粒子的半导体理论基础已经动摇。这时电子所表现出来的波动特征和拥有的量子功能就是纳米电子学的任务。纳米电子学有更多诱人之处。科学家们已经预言纳米电子学将导致一场电子技术的革命！ 高密度电子组装技术 集成电路IC实际上完成了芯片级的电子组装，有着极高的互联密度。那么，能不能将高集成SI/VLSI/ULSI（大规模/超大规模/特大规模集