数字化白光扫描干涉仪的研究.pdfVIP

第 1Z 卷 第 6 期 Z004 年 1Z 月 光学 精密工程 O p ti cs and Preci si on En g i neeri n g Vol .1Z No .6 Dec .Z004 收稿日期! Z004-10-Z Z 修订日期! Z004-11-18 . 基金项目!国家自然科学基金( No )和天津市科委基金( No .0Z360Z411 )支持 文章编号 1004-9Z4 X ( Z004 ) 06-0560-06 数字化白光扫描干涉仪的研究 张以谟!井文才!张红霞!李海峰!李朝辉 天津大学 精密仪器与光电子工程学院 光电子技术科学教育部重点实验室!天津 30007Z # 摘要!研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉 仪 系 统 和 光 纤 偏 振 耦 合 点 监 测 白 光 扫 描 干 涉 仪 系 统G前 者 采 用 Mirau 相 移干涉形式9用压电陶瓷传感器 PZT 作移项器9主要用于微形貌测量9精度可达 nm 量级G后者采用光路补偿白光 Michelson 干涉形式9用格兰棱镜对偏振态进行调整控制9用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差9光纤寄生偏振耦合测试仪的 空间分辨率达到 50 mm 9测量范围达到 1 km 9探测灵敏度不小于 80 dB (耦合模式与主模式的功率比)G 关 键 词!白光干涉仪!扫描模式!微形貌测量!偏振耦合点位置测量 中图分类号! O436 .1 文献标识码! A Com p uterized White li g ht scanni n g i nterferometer and t he a pp lication Z~ANG Yi mo 9 JI NG Wen cai 9 Z~ANG ~on g Xi a 9 LI ~ai f en g 9 LI Zhao hui ( The Ke $ Laborat or $ o f O P toelect ronic Tec hnolo g ic Science 9 EMC 9 The Colle g e o f Precision I nst rument and O P toelect ronic En g ineerin g 9 Tian j in Uniuersit $ Tian j in 30007Z 9 China ) Abstract 2 The i nstr u mentati on p ri nci p l es and desi g ni n g of t wo ki nds of whit e li g ht scanni n g i nt erf er o meter s y st e ms are st udi ed . One 9 based on t he t wo bea m Mirau p hase shif ti n g i nt erf er o meter and t he PZT used as a p hase shif t er 9 i s devel o p ed t o measure t he mi cr o p r ofil e wit h nano meter accurac y . The ot her 9 e m p l o y i n g Michel son i nt erf er o meter f or li g ht p at h co m p ensati on 9 wit h t he p ol ari zati on st at es ad ust ed and con tr oll ed b y r ot ati n g a Glan p ri s m 9 and b y var y i n g ref erence ar m t o co m p ensat e t he dif f erence of li g ht p at h i nduced b y p ol ari zati on cou p li n g p oi nt 9 i s devel o p ed t o measure t he p ositi on of p ol ari zati on cou p li n g p oi nt i n g o p ti cal fi ber . The result s are t hat t he s p ati al resol uti on of aut oeci ous Pol ari zati on cou p li n g measuri n g a pp arat us i s 50 mm 9 t h