激光振镜扫描系统的快速软件校正算法研究.pdfVIP

第 31 卷第 5 期 华中科技大学学报(自然科学版} Vol. 31 No.5 2∞3 年 5 月 J. fllIe7.hong Univ. of Sci. Tcch. (N..t耐Sciencc Edit町、} May 2∞3 激光振镜扫描系统的快速软件校正算法研究 陈忠 刘晓东 {华中科拔大学激丸拔术与工程研究院) 摘要: 针对激光摄镜扫铺系统的图形畸型~.根据自成像系统号l趣的儿何崎变的后验校正法提出一种二次111绞 饺正模型，对于图形中每-J辑发生几何黯变后的直线，用二次幽线在水平和~1t1f向去拟合，然后求得反变化 的佼正函数来佼正圆形的晴变，从而获得了一种准确快邃的梭?算法.该算法先拟合像场平商中是大边界直 线发生蜻变后的曲线，再求它的畸变笛，并按比例求得像场叶其他直线的晴统:黛.该算法的校iF.函数比从担国镜 扫描系统几何硝变公式导出的校正函数简单、实用，所周时网少. 关键 词:激光搬镜扫描; 凶形青变E 校正:快迹事法 中图分类号: TN249 文献串串i只码:A 文章编号: 1671.4512(2ω3)05.0068.0也 激光振镜扫描方式存在着固有的扫描场的儿 何畸变.表现为 z 方向上的枕形失真、y 方向上 的桶形失真和一段的线性失真. 当扫描场较大时， 极大地影响了激光加工的质量. 为此本文给出了 一种准确实用的快速校正算法. 1 图形畸变产生的原因和校正方法 枕形失真和桶形失真产生畸变的原理是相同 的.~丧镜扫描产生的畸变是一种固形的畸变，其所 谓的图形是由存储在计算机中的一些扫描点坐标 的数据所组成，是数字化了的图形.而这些数字化 了的图形由计算机通过 D/A 转换卡将数字信号 转换成模拟信号来控制摄镜偏转，它是按下面的 公式来进行处理的( 11: x =- - 2fw.r. Y = 2fw). (1) 式中 ，W.r和 Wy 是振镜z 和y 的偏转角 ;f为透镜 的焦距.这实际上只是古个近似的公式.如因 1 所 示.有 因 1 振镜光~示意隐l l技稿日朔 : 2ω2.09.18 . d = ftan8 , (2) 式中 8 等于振镜偏转角的 2倍-在偏转角校小的 情况下，式 (2) 和1式( 1 )近似等价，但是在角度较 大时(tan8 0)就会产生非线性失真，偏转角度越 大，误差越大. 线性失真是由于光学元件本身存在像楚而导 致的.一般可以通过物前透镜扫描像撞的分配来 进行校正，但是如果透镜没有这种功能，就需要采 取其他方法进行校E 对于振锐的图形畸变可以采用硬件校正fz ) 和软件校正.由于硬件校正需要成本高，对于饺正 的参数不能适时地调罄，而利用软件校正经济、精 确.还可以灵活调整参数.方法简单实用，已越米 越受到重视[Uj 但根据振镜扫描系统原理斗!} ~J 的图形畸变1世校正算法川的不足之处在予公式 盟面含有较多的三角函数，要花费大量的 叶~: I时 间 .使得JJ日工的效率大大降低，不能满足激光振镜 高速加工的要求，因此必须得到一种准确快踵的 校正算法. 2 二次曲线模型及算法 由成像系统引起的几何畸变的校正方法有树 种:一种是预畸变法:一种是后验校正法.顿时变 法祷要预先知道$t~崎变后的函数，以此为基础 得到校正函数，但是实际中并不能得到确切的畸 作精简介:陈 忠(1974.).第.硕士研究生;武汉，华中科技大学激光技术与工程研究院 (43∞74). .金项目:国家九五a点科技攻关项目(96-BlI.OI-0S) . ~ ~.电事 : 激光锺镜扫描系统的侠.ì!软件佼正.w研究第 3 期 变函数，这就要先用多项式拟合每一条畸变的直 线.得到j畸变函数，再进行校正本文的快速算法 就是基于第二种思想进行佼E振镜妇揄畸变的. 根据报镜归描崎变阁形的形状， ~在镜图形每 一条水平或~直直线畸变后的形状(桶形失14和 枕形失真)可以用二次幽线近似拟合 .这个算法的 总体思想是:通过利用二次曲线拟合图形中的每 -条发生崎变后的直线，求得原直线伫各个点发 仁崎变后的崎变髦，然后在原直线上加上一个反 方向的峭变量得到反变化的校正函散，从而控制 x.Y 振镜多偏转或少偏转一个角度来校正图形的 畸交\ 如图 2 所示 ， 阁中实线表示要加工的图形形 状， g防线表示崎变后的阁形形状，点却j线表示利用 工次曲线反向拟食的图形形状，利用这个囱形就 可以加工出原图形的形状. /1\-一勺?飞 1 川 i 11 飞lj/ / 一---..γ · 二 ， v J, , 图 2 算法模糊因 τ次曲线算法模型满足以下条件: a. 图形的横行或坚行是按照二次曲线发生 畸变的， ep1?线畸变后变成一个二次幽线; b. 以坐，你的原点为像扬的中心; C. 像场的 4 个顶点不发生畸变，即(x ,