真空的获得与测量实验报告的获得与测量实验报告.pdf

真空的获得与测量 姓名： 班级： 学号： 指导老师：张慧云 实验日期：2012.5.14 【摘要】：本实验通过对低真空实验系统和高真空实验系统的研究，根据真空的获得与测量 的相关原理，设计了几个实验，以获得低真空、测量容积比、获得高真空、测量配得的氦氖 激光器的输出功率与放电电流关系等等。实验过程中我们通过控制变量法、数据采集并作图 等手段，从而对于真空的获取与测量有了一个更深入和形象的认识。 【关键词】：低真空获取、高真空获取、氦氖激光器 一、 前言 1、 实验背景 “真空”是指低于一个大气压的气体状态。1643 年托里拆利（Torricelli）将一端密封的长管 注满水银后倒放在水银槽内时，发现了水银柱顶端的真空。此后，随着科学技术的进步，科 技人员不断致力于通过各种技术和手段提高真空度，现在，已经能够获得低于 10-9Pa 的极 高真空。近二、三十年来，真空技术在尖端科学领域作为基础工艺和基本设备也起了关键性 作用，还常常牵涉到一系列物理现象的研究。真空技术主要包括真空的获得（如真空泵技术、 真空系统的设计、真空系统的清洗、检漏技术等），真空的测量以及残余气体分析。 2、 实验原理 1）、 真空物理基础 “真空”是指低于一个大气压的气体状态，分为低真空（7.6×104~10-1Pa）、高真空（10-1~10- 5PA）、超高真空（10-5~10-9PA）和极高真空（低于 10-9Pa）。描述真空的物理性质的参数有： ① 分子密度 n——表单位体积内的平均分子数。气体压强与密度的关系由公式 p=nkT 描述。 ② 气体分子平均自由程——气体分子连续碰撞两次所通过的距离的统计平均值。 ③ 单分子层形成时间——新鲜表面上覆一个分子厚度的气体层所需的时间。 ④ 分子碰撞与壁面的平均吸附时间。 2）、真空的获得与测量 由被抽真空的容器、真空泵、测量真空度的仪器、管道和阀门所连成的一个整体系统称为真 空系统。 ① 获取： A、 真空泵：主要利用分子运动特性，把真空系统中运动到真空泵口的气体分子排出泵外或 者吸收，同时阻止外部分子逆向进入系统；而系统由于泵口分子排出而浓度分布不均匀， 气体分子持续向泵口运动，而形成“抽气”过程。排出泵外的称为开放式系统，吸收分 子的称为封闭式抽气系统。真空泵的两重要参量：极限真空、抽气速率。 B、 真空阀门：改变气流方向和气体流量大小。 C、 玻璃和金属的加热去气：玻璃和金属的表面往往会吸附相当数量的气体，或者在整个体 积内会吸收（溶解）相当的气体。它使得真空度长时间难以提高，或一旦停止抽气（关 断活栓或将被抽部件封断取下）真空度立即大大降低，故是在抽到高真空的同时，加热 整个金属和玻璃，提高气体分子运动速度，使气体更快地从表面和体内释放出来，温度 越高去气过程越快，但温度不能太高。 D、 金属的吸气：当金属蒸气冷凝在器壁上形成薄膜时，能大量吸附气体，电子器件中常用 这种方法在封闭的器件内吸气，常用的有钡、镁和磷等常温下活性的材料。 ② 测量： 对真空度的测量即对系统压强测量。用真空计测量。 A、 扩散硅压阻式差压传感器 半导体材料因受力而产生应变时，由于载流子的浓度和迁移率的变化而导致电阻率发生 变化的现象称为压阻效应。原理图如下（图 1）