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2.2.3 MOSFET Definitions ;MOSFET的基本结构如图2-8;为了解释人们能够想象这个结构是从一个IC电路中切断的结构。类电容器排布,由于硅基底的缩写MOS,如上所述,也如图所示。在早期的器件中金属顶电极为Al,但是自从大概1970开始,重掺杂多晶硅受到青睐。;这些年来,很多不同的绝缘材料被使用,但是原位热生长氧化物是目前和历史上迄今为止最重要的选择。这个硅氧化物的描述意味着必要的硅由单晶基底提供,它是诱导生长,如前所述,在氧氛围中通过给样品加热。;金属顶电极,或者电场电极,为MOSFET的控制电极我们称之为栅。在栅上施加一个足够的电压,相对于基底产生的电子被吸引到界面,因此产生了一个反型层。这个薄层组成了初期电阻,命名为MOSFET沟道。利用重掺杂N型区域在沟道末端制造欧姆接触,通常用离子注入或者固相扩散,或者两者的某些组合来构成。;图2-8很显然MOSFET展现出了双边对称。那也就是,沟道载流子依赖于偏压极性能够在两个方向漂移。这个对称性在特定的MOSFET应用中很重要。根据一端提供载流子到沟道,一端通过它接受载流子,两个沟道终端被命名。这两个术语分别为源和漏,偏压极性决定哪个是哪个很明显的。;这个术语的选择源于JFET,为了方便记忆,术语命名被提供特有的首写字母。(关于这个要求,物理学家的经典青睐术语源和汇明显是不够的)简而言之,对于正在研究的N-沟道,两个沟道终端的较为活跃的是漏,另一个就是源。;一般在MOSFET中所有电压指的是源电压(正如在早期时代,在真空管/电子管中终端电压被指的是阴极的电压)。因此,两个重要的偏压值为漏-源电压VDS和栅-源电压VGS,连续使用双下角标。但是基底组成了一个第四终端。;一个偏压从基底到源确实改变了器件的性质;特别在集成电路中,这是一个有时不能避免的情况。为了解决它,在最简单的层面对于“角标”,我们也需要一个特殊的角标,所以常用的词大部分采用近似的同义词。目的是意味着基底的内部。我们将要测量主要源电压VBS的影响。但是对于这首个脚注,让我们假定源和基底为电子共用,作为参考电压去服务。而且,目前使VDS=0;空穴一到氧化物-硅界面就会产生一定电压VGS,就会和硅晶体体积内部深处一致。在这种条件下,能带图代表从界面到P型硅晶体内部的条件将会具有完全水平的带边。不可思议的栅压值被称为平带电压,VGS≈VFB, 作为一个概念性的起点是有意义的。当现在栅端被做的比对应的源(和基底)更活泼的时候,带边开始向氧化物-硅界面弯曲。这个会具体测试。;此时,重要的是硅晶体的表面势ψs通过电场的影响开始变得更加活跃。界面处的空穴浓度下降电子浓度上升。这可由质量作用定律:pn=ni2指示出来,因为硅仍然处于平衡态。警告的原因是任何通过氧化物的漏电流在电压平衡的硅中伴生出一个净电流。但是SiO2超绝缘特性—电阻率超过1015Ohm*cm使得净电流消失。;在界面的右边的电子浓度存在有另一种重要的电压,它等于整个体积内的全部电子浓度,这种情况被叫做强反向阈值,被指定为VGS=VT。选择的术语是合适的,因为当栅压VGSVT时沟道电导率急剧增加。在等于和小于阈值电压时,形成始沟道的电子贡献了一个非常小的漏-源传导,产生了亚阈值电流。;对于更小的VGS值,因为施加的电压VDS反向偏置了漏的PN结,所以本质上存在着一个从漏到源的开路。当正向偏压加在源PN结上只有VDS的一小部分电流出现。因此对于一个很好的近似,我们能够成为沟道电导通过VGS在阈值电压VT下是“打开”的
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