5薄膜的生长过程和薄膜结构分解.ppt

5 薄膜的生长过程和薄膜结构;新相的形核阶段：气态的原子或分子凝聚到衬 底表面，扩散迁移形成晶核，晶核结合其他吸 附的气相原子逐渐长大形成小岛。;电子衍射ED;薄膜生长过程和结构;薄膜的生长模式： (1)岛状生长(Volmer—Weber)模式 对很多薄膜与衬底的组合来说，只要沉积温度足够高，沉积的原子具有一定的扩散能力，薄膜的生长就表现为岛状生长模式。即使不存在任何对形核有促进作用的有利位置，随着沉积原子的不断增加，衬底上也会聚集起许多薄膜的三维核心。 岛状核心的形成表明，被沉积的物质与衬底之间的浸润性较差。 许多金属在非金属衬底上都采取这种生长模式。;(2)层状生长(Frank-van der Merwe)模式 当被沉积物质与衬底之间浸润性很好时，薄膜的沉积表现为层状生长模式。 在层状生长模式下，已没有意义十分明确的形核阶段出现。 在极端情况下，即使是沉积物的分压已低于纯组元的平衡分压时，沉积的过程也会发生。;(3)层状—岛状(Stranski-Krastanov)生长模式 最开始的一两个原子层的层状生长之后，生长模式从层状模式转化为岛状模式。 导致这种模式转变的物理机制比较复杂，但根本的原因应该可以归结为薄膜生长过程中各种能量的相互消长。;层状-岛状生长模式的原因： 1) 开始时是外延式的层状生长，由于薄