中兴大学电机(光电)工程研究所无尘室使用者收费办法-中兴大学电机系.doc

中興大學電機(光電)工程研究所無塵室使用者收費辦法 為維護無塵室正常運作，訂定本收費辦法，所有無塵室使用者必須遵守，否則取消其進入無塵室之權利。 校內無塵室使用者分為三個等級：(1)電機(光電)工程研究所使用者(2) 校內會員(3) 校內非會員。(1)和(2)使用者使用無塵室，將收取基本費及使用者付費兩部分。基本費以教授為單位，每學年每位老師收取3萬元，其中一萬元為基本費，兩萬元為預付儀器使用費。使用者付費依各儀器設備刷卡記錄收費，依『無塵室刷卡收費標準一覽表』收費。 非校內使用者，依『無塵室管理儀器設備暨對外服務』辦法收費。但和電機(光電)工程研究所有合作關係者，得比照校內非會員使用者收費。 無塵室使用者付費部分，每個月結算一次。 中興大學電機(光電)工程研究所無塵室儀器設備 刷卡收費標準一覽表 (95.12.1) 項次電機所儀器名稱服務細項收費標準（元）電機(光電)所校內會員校內非會員學校支援採購儀器1OAI雙面對準曝光系統（包含光阻處理、光罩對準）(A級)晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光暫不收費(學校有補助耗材費用)2ICP-RIE(學校目前無補助耗材費) (A級)60分鐘內開機300元(60分鐘內)超過60分鐘5元/分(超過60分鐘)電機(光電)工程研究所自購儀器設備3潔淨室使用費 (A級)含手套、口罩、空調耗材等1元/分1.5元/分3元/分4PECVD(B級)60分鐘內900元1350元2700元超過60分鐘15元/分22.5元/分45元/分5ECRCVD(B級)60分鐘內900元1350元2700元超過60分鐘15元/分22.5元/分45元/分6真空熱蒸鍍系統(A級)60分鐘內180元240元480元超過60分鐘3元/分4.5元/分9元/分 7薄膜測厚儀 (A級)60分鐘內180元240元480元超過60分鐘3元/分4.5元/分9元/分8FTIR 光譜儀 (A級)60分鐘內180元240元480元超過60分鐘3元/分4.5元/分9元/分9UV－VIS光譜儀(A級)60分鐘內180元240元480元超過60分鐘3元/分4.5元/分9元/分10Wet Bench (A級)60分鐘內120元180元360元超過60分鐘2元/分3元/分6元/分備註1.此收費標準係參考「無塵室管理儀器設備暨對外服務」等相關收費辦法後制定。 2.請依電機(光電)工程研究所規定付費方式付費，另光阻請自備。中興電機工程研究所無塵室儀器設備暨對外服務 收費標準一覽表 項次電機所儀器 名稱服務細項收費標準（元）學校單位研究單位營利事業單位1潔淨室使用費5元/分7元/分10元/分2雙面對準曝光系統（包含光阻處理、光罩對準）(不包含Wafer和Mask材料)晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光400＋ 10元/分 600＋ 10元/分 800＋ 10元/分3ICP-RIE60分鐘內1500元2000元2500元超過60分鐘1500＋ 20元/分 2000＋ 30元/分2500＋ 40元/分 4PECVD60分鐘內1500元2000元2500元超過60分鐘1500＋ 20元/分2000＋ 30元/分2500＋ 40元/分 5ECRCVD60分鐘內1500元2000元2500元超過60分鐘1500＋ 20元/分 2000＋ 30元/分2500＋ 40元/分 6真空熱蒸度系統60分鐘內1000元1200元1500元超過60分鐘1000＋10元/分 1200＋12元/分1500＋15元/分7薄膜測厚儀開機費500700800每片二點內200300400每超過一點加1001502008FTIR 光譜儀開機費500700800每片二點內200300400每超過一點加1001502009UV－VIS光譜儀開機費500700800每片二點內200300400每超過一點加10015020010wet bench400/小時