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精密工作台的光栅定位测量系统设计doc
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精密工作台的光栅定位测量系统设计
姓名 孙家欢
班级 07测控(1)
学号 目 录
1国内外现状…………………………………………3
2系统总体方案设计……………………………………..7
3测量系统设计…………………………………………..10
4测控电路………………………………………………..11
5展望和总结……………………………………………..16
6参考文献………………………………………………..17
1国内外现状
作为精密机械与精密仪器的关键技术之一———微位移技术,近年来随着微电子术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速地发展起来。例如用金刚石车刀直接车削大型天文望远镜的抛物面反射镜时,要求加工出几何精度高于1/10光波波长的表面,即几何形状误差小于0.05μm。计算机外围设备中大容量磁鼓和磁盘的制造,为保证磁头与磁盘在工作过程中维持1μm内的浮动气隙,就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。特别是到20世纪70年代后期,微电子技术向大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)方向发展,随着集成度的提高,线条越来越微细化。256K动态RAM线宽已缩小到1.25μm左右,目前已小于0.1μm,对与之相应的工艺设备(如图形发生器、分步重复照相机、光刻机、电子束和X射线曝光机及其检测设备等)提出了更高的要求,要求这些设备的定位精度为线宽的1/3~1/5,即亚微米甚至纳米级的精度。
由于定位技术的水平几乎左右着整个设备的性能,因此直接影响到微电子技术等高精度工业的发展。例如精密仪器,无论是大行程的精密定位,还是小范围内的光学对准,都离不开微位移技术。因此微位移技术,成为现精密仪器的共同基础。
下表列举了目前国内外应用微位移技术的部分实例。
微位移系统如图包括微位移机构、检测装置和控制系统3部分。微位移机构是指行程小(一般小于毫米级)、灵敏度和精度高(亚微米、纳微米级)的机构。
微位移机构(或称微动工作台)由微位器和导轨两部分组成,根据导轨形式和驱动方式可分成五类:
①柔性支承、压电或电致伸缩微位器驱动;
②滚动导轨,压电陶瓷或电致伸缩微位移器驱动;
③滑动导轨,机械式驱动;
④平行弹性导轨,机械式或电磁、压电、电致伸缩微位移器驱动;
⑤气浮导轨,伺服电机或直线电机驱动。
在各种测量系统中,光栅测量系统优越的综合技术性能,和较低的制造费用,因此光栅发展得最快,技术性能最高,市场占有率最高,产业最大。光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%,光栅长度测量系统的分辨力已覆盖微米级、亚微米级和纳米级测量速度从60m/min到480m/min,测量长度从1m、3m达到30m和100m。
光栅的种类繁多,在精密仪器和精密计量中应用非常广泛,计量光栅是增量式光学编码器。计量光栅技术的基础是莫尔条纹(Moire fringes),1874年由英国物理学家L.Rayleigh首先提出这种图案的工程价值,直到20世纪50年代人们才开始利用光栅的莫尔条纹进行精密测量。1950年德Heidenhain首创DIADUR复制工艺,也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺,这才能制造高精度、价廉的光栅刻度尺,光栅计量仪器才能为用户所接受,进入商品市场。1953年英国Ferranti公司提出了一个4相信号系统,可以在一个莫尔条纹周期实现4倍频细分,并能鉴别移动方向,这就是4倍频鉴相技术,是光栅测量系统的基础,并一直广泛应用至今。
我国在光栅方面的研究起步较晚,于1960年前后,并在光栅和圆光栅的制造、用方面取得了许多成果。但是,我们与当今世界上主要的光栅测量装置生产厂家相比(德国的OPTION、Heidenhain公司、日本的三丰、双叶、美国的BL公司等)有一定的差距,主要表现在:制造精度比较低、批量程度差、品种比较单一
此外,目前发达国家在数控技术方面均投人大量的人力物力,研究和开发了一系列新一代的数控设备。例如,德国的SIEMENS公司、日本的FUNAC公司等等。虽然我国数年来也不断对数控技术进行发展,但是出于种种原因,直到今天我国数控领域依然处于比较落后的局面,我们必须对数控技术不断加以研究和探索,整个现代工业加工的基础领域能有较大的发展,而使得工业经济的发展。
2系统总体方案设计
单片机
放大器
直线电机
光栅位移传感器
脉冲处理
工作台
计量光栅具有以下优点:
(1)测量精度高。计量光栅应用莫尔条纹原理。莫尔条纹是由许多刻线综合作用的结果,故对刻画误差有均化作用。因此利用莫尔条纹信号所测量地位置精度较线纹尺等高,可用于微米级,亚微米级的定位系统。
(2)读数速率高。莫尔条
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