《微电子学概论》—ch10纳电子器件.pptVIP

;OUTLINE;什么是纳米科技 纳米科学是研究在千万分之一米到亿分之一米(10-9米)内，原子、分子和其它类型物质的运动和变化的规律； 利用这些规律，在这一尺度范围内对原子、分子进行操纵和加工被称为纳米技术。 ;0.1nm 1nm 1000nm 106nm 109nm;纳米体系：量子世界 波 粒 二 象 性 不确定 原 理;;不确定原理;纳米技术研究内容;纳米技术的主要特征;扫描隧道显微镜;当导电金属针尖距离导电物质表面足够近时（1nm），探针针尖和物质表面就会有隧道电流通过，微弱的隧道电流信号可以被电路放大，并准确记录。 隧道电流对样品表面之间的距离呈指数关系，根据量子理论计算，距离每减小0.1nm（一个氢原子的直径），隧道电流值会增加10倍。在探针扫描时，通过测量这种隧道电流的变化就可以记录下物体表面的起伏情况，再经计算机重建后就可以获得反映物体表面形貌的直观图象。 STM只能用于导体和半导体。;扫描隧道显微镜;原子力显微镜; 当探针在样品表面扫描时，由于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化，而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化，最终导致照射到光敏检测器上的激光光斑位置发生移动。光敏检测器将光斑位移信号转换成电信号，经放大处理后，计算机通过ADC采集每个X，Y坐标点所对应的反馈电路输出值，再转化为灰度级在监视器上显示出扫描范围中样品的表面形貌。;原子力显微镜;OUTLINE;纳米碳管;碳纳米管（Carbon nanotube）;碳纳米管（Carbon nanotube）;碳纳米管和半导体纳米线;碳纳米管可以看成是由石墨卷曲而成的封闭管，其结构可用螺旋矢量Ch和螺旋角θ来表征;;碳纳米管组装器件的局限 金属性或半导体性的碳纳米管难可控生长，不同电学特性的纳米管生长在一起，需后续分离 半导体纳米线 总是呈现半导体特性，其掺杂类型、浓度可控，纳米线的成分、尺寸、电学和光学特性等可在合成过程中合理控制 ;半导体纳米线 由于硅纳米线表面易氧化，通过氧化层保护;量子点和量子线;纳米材料的四大效应; 当超细微粒的尺寸与光波波长等物理特征尺寸相当或更小时，晶体周期性的边界条件将被破坏；非晶态纳米微粒的颗粒表面层附近原子密度减小，导致声、光、电、磁、热、力学等特性呈现新的效应。; 当金属粒子尺寸下降到某一值时，金属费米能级附近的电子能级由准连续变为离散能级的现象，并且纳米半导体微粒存在不连续的被占据分子最高轨道和未被占据的分子最低轨道能级。 能隙变宽现象称为量子尺寸效应。; 纳米微粒尺寸小，表面能高，位于表面的原子占相当大的比例。由于表面原子数增多，原子配位不足及高的表面能，使这些表面原子具有高的化学活性、催化活性、吸附活性．; 微观粒子具有贯穿势垒的能力称为隧道效应。一些宏观量，例如微颗粒的磁化强度，量子相干器件中的磁通量等亦具有隧道效应，成为宏观的量子隧道效应。;OUTLINE;;三代电子器件;纳电子学;解决的思路;纳电子器件;电导量子化;电导量子化;库仑堵塞现象;隧道效应;纳电子器件的制造技术 自上而下 自下而上（未获突破）;自组织生长(自下而上);可控的自下而上的组装技术; 纳电子器件所面临的问题 如何获得性能稳定的晶体管 如何组成纳电子器件逻辑电路 解决纳电子器件电路中的信息处理;单电子晶体管;一旦某一电子隧穿进入一纳米粒子它会对随后而来的第二个电子进入该纳米粒子起阻挡作用,称为库仑阻塞现象.只有等这个电子离开该纳米粒子后外界的第二个电子才可能再进入该纳米粒子.利用这种库仑阻塞现象可能人为的控制电子单个的穿过具有纳米结构的器件,实现单电子隧穿过程.;库仑岛（量子点）;作业