XPS仪器和基础解析讲义.pptVIP

X射线光电子能谱法 X-ray Photoelectron Spectrum (XPS); X射线光电子能谱法（X-ray Photoelectron Spectrum，简称XPS）是利用波长在X射线范围的高能光子照射被测样品，测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法。 样品在X射线作用下，各种轨道电子都有可能从原子中激发成为光电子，由于各种原子、分子的轨道电子的结合能是一定的，因此可用来测定固体表面的电子结构和表面组分的化学成分。在后一种用途时，一般又称为“化学分析光电子能谱”（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称ESCA）。 XPS在实验时样品表面受辐射损伤小，能检测周期表中除H和He以外所有的元素，并具有很高的绝对灵敏度。因此， XPS是目前表面分析中使用最广的谱仪之一。;XPS在表面分析领域中是一种崭新的方法。虽然用X射线照射固体材料并测量由此引起的电子动能的分布早在本世纪初就有报道???但当时可达到的分辨率还不足以观测到光电子能谱上的实际光峰。 直到1958年，以Siegbahn为首的一个瑞典研究小组首次观测到光峰现象，并发现此方法可以用来研究元素的种类及其化学状态，故而取名“化学分析光电子能谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis-ESCA）。目前XPS