李建军-半导体器件模拟及数值分析第六章有限元法模拟选编.ppt

第六章 有限元法;§6-1 基本概念; 有限元法(Finite Element Method)，又译为有限元素法，是离散数值分析方法之一。是现在公认的一个有效的用途广泛的数值分析工具，它能应用于几乎所有的连续介质问题和场问题。70年代，有限元法在半导体器件模拟领域中得到了发展，并且自那以后，研究它在器件模拟中的应用，超过了有限插分法。 ; 现在把求解区域分成很多元素，并用每个元素内假设的近似函数来表示未知的场变量，那么，通过有限元素离散化过程便把问题简化为有限个未知数的问题。 近似函数（有时称为插值函数）则由称之为节或节点的指定点上的场变量值来确定。 节点通常选在元素的边界上，相邻的元素由节点连接在一起；除边界节点外，元素也可能有一些内部节点。; 场变量的节点值和元素的插值函数完全确定了元素内部场变量的特性。一个问题用有限元素表示后，场变量的节点值变成了新的未知数，一旦求出这些未知数，则插值函数便确定了整个元素集合体的场变量。 ; 有限元法的另一个优点是建立各单独元素特性公式的途径的多样性。一般来讲，得到元素特性的方法有四种：直接法、变分法、加权余数法和能量平衡法。各种方法的特点概括如下：; 能量平衡法：取决于系统的热平衡或机械能的平衡。象加权余数法一样不需要应用变分法原理。因为极大地扩大了有限元素法可能应用的范围。;?????? 2. 选择插值函数 指定每个元素上的节点，选择插值函数的类型以表示每个元素上场变量的变化。通常是选择多项式作为场变量的插值函数，因为多项式易于积分和微分。场变量及其导数的大小在节点上可能是未知的。;基本概念;基本概念;§6-2 连续介质离散化及插值函数;连续介质离散化及插值函数; 6.2.2 元素和插值函数概述; (2). 在极限情况下当元素的尺寸缩小为零时， 的全部均匀状态及其偏导数(直至在有限元积分方程中出现的最高阶的偏导数)都能用 来表示。; 由此可见，当对所要解决的问题选用合适的元素类型时，必须包括元素的形状、节点的数目和类型、节点变量的类型和插值函数的类型，这些特性中只要缺少一项，对元素的描述就是不完整的。虽然可以设想许多类型的函数都可以作为插值函数，但是只有多项式得到了广泛的应用。原因是多项式的数学运算较为容易，可以毫无困难地进行积分和微分。 以下将本着上述原则，讨论在半导体器件模拟中常用的元素类型和插值函数。; 6.2.3 一维元素及其插值函数;;N1(x)和N2(x)称为插值函数。; 6.2.4 二维元素及其插值函数; 在半导体器件模拟中常采用的二维元素是三节点三角形元素。根据区域离散化的形式，可以允许 在每个元素上按线性变化，如图6-4。与元素(e)相联系的 的三个节点值的平面由下述方程描述。; 从而求得用元素节点的坐标和 的节点值来表示的常数;把方程(6.2.6)代入方程(6.2.4)，;Nl(e)就是三节点三角形元素的线性插值函数。; 某一三角形元素e，顶点坐标分别为i(0,0),j(1,0),k(1/2,1)，求i,j,k节点处的插值函数。由(6.2.8)得; 6.2.4 二维元素及其插值函数; 6.2.4 二维元素及其插值函数; 6.2.5.三维元素;§6-3 加权余数法;加权余数法;加权余数法; 当 代入方程(6.3.1)时，未必能满足方程，即 ￡( )-f 0 或表示为 ￡( )-f =R 式中R是用 近似表示 时所产生的余数或误差。加权余数法是在整个求解区域上，通过使误差R为微小的方法，来定出m个未知数Ci，其做法是做出误差的加权平均值，使它在求解区域上为零。因此，可选择m个线性无关的加权函数Wi，并且认为，若; 方程(6.3.4)中表示的误差分布原理的形式与加权函数的选择有关。一旦指定了加权函数，方程(6.3.4)就表示出求Ci的m个方程，它们或者是代数方程，或者是常微分方程，于是第二步是解方程(6.3.4)求Ci。通过方程(6.3.2)可得到未知场变量 的近似表示。可以证明，对于许多线性问题，甚至某些非线性问题，当 时，; 因此，伽辽金法要求;; 避免这种困境的常用方法是改变方程(6.3.6)的形式，对方程(6.3.6)的积分表达式进行分部积分，可以得到包含较低阶导数的表达式，从而可以利用较低阶的元素间的连续性的近似函数。当分部积分可能时，这便提供了一种方便的方