SU-8去胶工艺对电铸 Ni 材料力学性能的影响.pdfVIP

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2017-04-25 发布于北京
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SU-8去胶工艺对电铸 Ni 材料力学性能的影响.pdf

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SU-8去胶工艺对电铸 Ni 材料力学性能的影响.pdf

第２８卷第６期强激光与粒子束Ｖｏｌ.２８，Ｎｏ.６２０１６年６月 HＩＧH PＯWＥＲＬＡSＥＲＡＮＤ PＡＲＴＩＣＬＥ BＥＡMS Ｊｕｎ.，２０１６ Influence of SU-８ removal process on mechanical * properties of electrodeposited nickel ＬｉＪｉａｎｈｕａ１， Fｕ Bｏ２，ＯｕＸｉｕｌｏｎｇ２（１ .National Key Laboratory of Science and Technology on Ｅlectromechanical Dynamic Control ， Beij ing Institute of Technology ，Beij ing １０００８１，China ；２ .MＥMS Center ，Huaihai Industrial Corporation ，Changzhi ，Shanxi ０４６０１２，China） Abstract： SＵ-８ｎｅｇａｔｉｖｅｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔｈａｓｗｉｄｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｄｕｅｔｏｉｔｓｅｘｃｅｌｌｅｎｔｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ，ｓｕｃｈａｓｇｏｏｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｙ，ｂｉｏ-ｃｏｍｐａｔｉｂｉｌｉｔｙａｎｄｔｈｅｒｍａｌｓｔａｂｉｌｉｔｙ.Ｎｉｃｋｅｌｉｓｏｆｔｅｎｅｍｐｌｏｙｅｄｉｎ MＥMS ｄｅｖｉｃｅｓｄｕｅｔｏｉｔｓｇｏｏｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｙａｎｄｃｈｅｍｉｃａｌｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ.Ｉｎ MＥMS ａｃｔｕａｔｏｒ，ｅｌａｓｔｉｃｅｌｅｍｅｎｔｓａｒｅｇｅｎｅｒａｌｌｙｆａｂｒｉｃａ- ｔｅｄｂｙｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｅｄｎｉｃｋｅｌ.SＵ-８ｗｉｌｌｆｏｒｍａｈｉｇｈｌｙｃｒｏｓｓ-ｌｉｎｋｅｄｎｅｔｗｏｒｋｐｏｌｙｍｅｒａｆｔｅｒｅｘｐｏｓｉｎｇｔｏＵＶｉｒｒａ- ｄｉａｔｉｏｎ，ｗｈｉｃｈｉｓｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏｄｉｓｓｏｌｖｅｉｎｓｔｒｏｎｇａｃｉｄ，ａｌｋａｌｉ，ａｎｄｃｏｎｖｅｎｉｅｎｔｏｒｇａｎｉｃｓｏｌｖｅｎｔ.Ｅｓｐｅｃｉａｌｌｙ，ｈｉｇｈｌｙｃｒｏｓｓ-ｌｉｎｅｄ SＵ-８ｉｓｖｅｒｙｈａｒｄｔｏｂｅｒｅｍｏｖｅｄａｆｔｅｒｍｅｔａｌｅｌｅｃｔｒｏｐｌａｔｉｎｇ.Mａｎｙ SＵ-８ｒｅｍｏｖａｌｍｅｔｈｏｄｓｈａｖｅｂｅｅｎｄｅｖｅｌｏｐｅｄ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｐｈｙｓｉｃａｌａｎｄｏｘｉｄａｔｉｖｅｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ.Ｏｘｉｄａｔｉｖｅｍｅｔｈｏｄｓｃａｎｒｅｌｉａｂｌｙａｎｄｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｒｅｍｏｖｅｔｈｅ SＵ-８.Bｕｔｔｈｅｙｔｅｎｄｔｏｄａｍａｇｅｏｒｃｈａｎｇｅｔｈｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｅｄｍｅｔａｌ.Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｍｅ- ｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｅｄｎｉｃｋｅｌｗｅｒｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄｂｅｆｏｒｅａｎｄａｆｔｅｒ SＵ-８ｒｅｍｏｖａｌｂｙｕｓｉｎｇｐｌａｓｍａｄｏｗｎｓｔｒｅａｍｃｈｅｍｉｃａｌｅｔｃｈｉｎｇ（ＤＣＥ）ａｎｄｍｏｌｔｅｎｓａｌｔｂａｔｈｏｘｉｄｉｚｉｎｇｍｅｔｈｏｄ.ＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅＹｏｕｎｇ’ ｓｍｏ