传感器：第3章电容式传感器.pptVIP

代入前式得到 如果是变面积式差动电容 则 （三）差动脉冲宽度调制电路 电路如图。 前面图中： 设 ，得 从上式可看出，不论是变间隙差动传感器还是变面积差动传感器输出也都是线性的。 （四）运算法测量电路 电路见下图。考虑运放的 “虚断”“虚短”效应有 由于 于是 对于变间隙式传感器输出为线性，如果是变面积式传感器，可以交换 和 ，于是 同样输出与输入成线性关系。 可以实现调零的运算法电路如下。设电位器左右两边总电阻之比为 则 取 得 一、温度对结构尺寸的影响 如图，随温度变化电容间距 3.3 电容式传感器的误差分析 要实现温度补偿，只需 考虑 代入前式，得 整理后 由上式可以看出，温度误差与零件的几何尺寸，结构形式以及材料的温度系数有关。 2006.9.25 JC204- 二、电容器电场的边缘效应 平板电容的计算公式是 基于两极板间为匀强电 场。当考虑电容边缘电 场分布不均匀时，边缘 效应相当于传感器并联 了一个附加电容，会引 起传感器的灵敏度下降 和非线性增加。增大初 始电容和增加等电位环 可以改善边缘效应。 三、寄生与分布电容的影响 电容式传感器除有极板间电容外，极板与周围物体也会产生电容，这种电容称为寄生电容。寄生电容极不稳定，要消除寄生电容可采用屏蔽措施，将电容器极板放置在屏蔽罩内，屏蔽罩接地。同样引出线也必须使用屏蔽线，同时屏蔽线也必须接地。 用于电容式传感器输出的屏蔽线具有分布电容，该分布电容不仅与电缆本身的特性有关，而且与电缆的放置位置以及形状不同也有关系。解决电缆的电容影响的有效办法是驱动电缆技术。其基本原理是使电缆屏蔽层电位跟踪传感器电容输出极板的电位。下图为一种驱动电路。 下图为另一种驱动电路。 图中 要求 于是 2007.9.23 JGLX303- 一、电容式压差变送器 结构见下两图。 3.4 电容式传感器的应用 分析二室结构的压差变送器。参见下图 有前面图中可知： 下面分析 的计算方法。 有图上知 考虑 有 在球面上取一宽度为 ，长度为 的环形微元，该微元与可动极板初始位置的电容量为 对上式积分得 感压膜片在压差 作用下，膜片上的挠度 在挠曲面上，取宽度为 ，长度 的环形微元，其与动膜片的初始位置间电容为 积分得 将 与 的表达式代入前面二极管环形检波电路的输出电流表达式中，得 将前面 与 代入上式，得 令 则 由上式可看出，输出电流与压差成线性关系。 二、电容式测微仪 见图，该方式测量微位 移，量程可到100μm 左右，分辨率可以到 0.01 μm。 为了减小，圆柱探头的边缘效应，一般在探头外面再加一个等电位环，参见图。 电容测微仪整机框图见下。 三、电容式液位计 电容式液位计原理见图。 浸入液体中的导线以绝缘 层为介质，与周围的液体 构成圆柱形电容器。 其容量 电容式液位计的一种测量电路如下图。 当输入方波由低电平变为高电平时，由A点到B点流动的电荷量 当输入方波有高电平变为低电平时，由B点到A点流动的电荷量 因此在一个充电周期内有B点流向A点的电荷量为 设方波的频率为 ，则流过A、B端及电流表M支路的平均电流为 本章重点： 1.变面积、变间距、变介电常数电容传感器原理； 2.电容式传感器的等效电路、交流不平衡电桥工作原理； 3.理解二极管环形检波电路、差动脉冲宽度调制电路工作原理。掌握运算法测量电路的工作原理； 4.理解寄生电容、分布电容对电容式传感器的影响，以及消除方法的原理； 5.常见电容式传感器的结构及原理分析。 习题：3-1，3-2，3-3，3-4，3-9，3-10，3-14，3-16 第三章 电容式传感器 电容式传感器是将被测参数转换为电容量的测量装置。 与电阻式、电感式传感器相比优点有： 测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单适应性强。 缺点： 寄生电容影响大、变间隙式具有非线性输出。 平板电容电容量与极板间距、极板面积、极板间介质的关系如下 式中 为相对介电常数，对空气 为极板间距 为极板间相互覆盖的面积 3.1 电容式传感器工作原理 一、变面积型 原理见图。 左图为角位移式电容传感器，当 时 当 时 由上式可见， 与 成线性关系。