激光束诱导电流在HgCdTe双色探测器工艺检测中的应用.pdfVIP

第 24 卷第 6 期 红 外 与 毫 米 波 学 报 VOI. 24，NO. 6 2005 年 12 月 J. Infrared MiIIim. Waves December，2005 文章编号：1001 - 9014（2005）06 - 0459 - 04 激光束诱导电流在 HgCdTe 双色探测器 工艺检测中的应用 叶振华， 胡晓宁， 蔡炜颖， 陈贵宾， 廖清君， 张海燕， 何 力 （中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083） 摘要：报道了激光束诱导电流（LBIC）在碲镉汞（HgCdte）红外双色探测器工艺检测中的应用. 通过 LBIC 测试，发现 p 型 HgCdte 材料由 B + 离子注入损伤形成的 n 区面积大于其注入面积，并获得 n 区横向的精确分布. 同时，运用 LBIC，获得了 p 型 HgCdte 材料因不同能量的等离子体干法刻蚀诱导的刻蚀台面侧壁工艺损伤形成的 n 区横向分 布，并得到了 n 区横向宽度与等离子体能量的关系. 关 键 词：激光束诱导电流；HgCdte；干法刻蚀；双色探测器 中图分类号：tN4 文献标识码：A APPLICATION OF LASER BEAM INDUCED CURRENT FOR TECHNOLOGY DETECTING OF HgCdTe TWO-COLOR DETECTOR yE Zhen-Hua， HU XiaO-Ning， CAI Wei-ying， CHEN Gui-Bin， LIAO Oing-Jun， ZHANG Hai-yan， HE Li （Shanghai Institute Of technicaI Physics，Chinese Academy Of Sciences，Shanghai 200083，China） Abstract：the appIicatiOn Of Iaser beam induced curren（t LBIC）fOr the technOIOgy detecting Of Mercury-Cadmium-teIIuride （HgCdte）infrared twO-cOIOr detectOr was presented. By LBIC test，it ws fOund that the area Of n-type regiOn derived frOm p-type HgCdte having been impIanted by BOrOn iOn was Iarger than the area tO be impIanted，and the precise transversaI distributiOn Of this n regiOn was aIsO Obtained. At the same time，the transversaI distri