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激光诱导等离子体的实验研究及其在光谱分析中的应用.pdf
第 24 卷 ,第 2 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 VOI . 24,NO . 2,pp214-219
2 0 0 4 年 2 月 SpectrOscOpy and SpectraI AnaIysis Febraary,2004
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激光诱导等离子体的实验研究及其在光谱分析中的应用
赵书瑞,陈金忠,魏艳红,郭庆林
河北大学物理科学与技术学院,河北 保定 071002
摘 要 综述了近几年国内外在激光诱导等离子体方面的实验研究进展,及其在光谱分析中的应用。着重
阐明了在不同的条件下(气体种类、环境气压、激光能量、波长、脉宽、功率密度、观测高度)激光诱导等离
子体的形成、辐射、电子温度、电子密度和扩散速度方面的实验研究;另外,激光诱导等离子体用于物质成
分分析中,主要阐述了直接采集等离子体的辐射进行固态、液态和气态样品的分析以及激光烧蚀与 ICP 光源
联用进行的光谱化学分析两个方面,并对影响分析精确度和检出限的因素进行了简要讨论。
主题词 激光诱导等离子体;辐射;光谱分析;ICP
中图分类号:0433.5 + 4 文献标识码:A 文章编号:1000-059(3 2004)02-0214-06
引 言 性,对于正确有效地运用其解决科研和生产中的实际问题,
提高科学技术水平具有十分重要的意义。
近些年来,对激光烧蚀固体表面而诱导的等离子体的研
究已引起人们的极大兴趣,在薄膜激光溅射技术、同位素激
光富集技术、激光痕量分析技术、表面可蚀和改性以及非晶
纳米晶化等研究中都涉及到激光诱导等离子体问题。因此,
对激光等离子体特性的研究与应用已引起许多材料科学工作
者的重视。激光诱导等离子体的形成过程是一个相当复杂的
过程,与许多因素密切相关,人们多采用改变实验条件的方
法(诸如不同的激光波长、脉宽、能量、靶材料、环境气体
的种类与气压以及其他因素)对靶的烧蚀速率,产物平均动
能和产物光辐射规律等进行了大量的研究。本文对激光诱导
等离子体的实验研究及其在光谱分析中的应用进行了简要评
述。 Fig.1 Schematic diagram of the sample housing
( ) ;( ) ;( ) ;( ) ;
实验装置 1 Iaser-indaced pIasma 2 sampIe 3 sampIe stage 4 brass base
1 (5)O-ring
研究激光诱导等离子体的实验装置一般由三部分组成:
激光与物质相互作用与激光的特性(能量、脉宽、波
激光器、低真空装置、接收装置。
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