电涡流传感器的技术优势及应用.pdfVIP

??33????3?? 行业资讯 ．新型传感器． 电涡流传感器的技术优势及应用 文／孙艳秋 渤海船舶职业学院 摘要：介绍了电涡流传感器的工作原理，分析了此类传感器的技术优势及研发动态。概述了电涡流传感器在机 械运动状态的监控、金属磨粒的检测等方面的应用以及使用中的技术要点。 关键词：电涡流传感器；原理；技术优势；应用；?? 电涡流传感器，是一种基于磁场在金属表面的“涡流效应”所制的传感器，能够对金属物体的位移、转速、 振动等力学量进行检测和控制，因具有非接触测量等诸多优点，广泛用于化工、冶金、航天等行业中，也可 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??J-=?? 艺的引入与发展，电涡流位移传感器的应用领域还在不断拓展。 1?????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????(???????? ????????????????????????????????????????)???????????????????????????????????????????????????? 一现象即为电涡流效应，根据电涡流效应结合相应工艺便可制作电涡流传感器。 ??????????????????????1?????????????? 延伸电线 11i?????? 工作时，被测金属与探头之间的距离发生变化， 探头中线圈的?狄菜嬷?浠?琎值的变化引发 ????{????????振荡电压幅度的变化，这一随距离变化的振荡电 压经过检波、滤波、线性补偿、放大归一处理转 被测体 化成电压?缌?变化，最终将机械位移?湎? ??l 电涡流传感器工作原理 转换成电压?缌?信号。从工作原理可以看出， 电涡流传感器系统中被测体可看作传感器系统的一半，即一个电涡流传感器的性能与被测体关系密切。 电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离，这 是一种非接触式线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体?匦胧墙鹗舻继?与探头端面之间静态 和动态的相对位移变化。 为提高普通电涡流传感器的灵敏度和增大检测距离，有研究者设计了一种新型非接触宽线性范围的位移 电涡流传感器，其实验结果表明，当电涡流传感器的探头直径为? mill??????????????2??0??29??5?线性 度较好，在?? ?和?．???? min?????????????????????????????????????????????????????????????? 例如引入溅射工艺、刻蚀工艺以及电镀工艺等关键技术，进而设计采用??加工工艺可制作微电感涡流传 感器。 按照电涡流在导体内的贯穿情况，此类传感器可分为高频反射式和低频透射式两类，但在基本工作原理 上仍然相似。电