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第五章 电涡流式传感器;电涡流式传感器是基于电涡流效应原理制成的传感器。;一个通有交变电流I1的传感器线圈，由于电流的变化，在线圈周围就产生一个交变磁场H1，当被测金属置于该磁场范围内，金属导体内便产生涡流I2，涡流也将产生一个新磁场H2 ， H2与H1方向相反，因而抵消部分原磁场，从而导致线圈的电感量L、阻抗Z和品质因数Q发生变化 。 ;涡流效应的特性： 由于涡流效应在金属导体内产生电涡流I2， I2在金属导体的纵深方向并不是均匀分布的，而只集中在金属导体的表面，这称为集肤效应。 电涡流具有集肤效应，它与激励源频率f、工件的电导率?、磁导率?等有关。频率越高，电涡流的渗透深度就越浅，集肤效应就越严重。;由于存在集肤效应，电涡流方法只能检测导体表面的各种物理参量。改变频率f，可控制检测深度。激励源频率一般为100kHz~1MHz.为了使电涡流深入金属导体深处，或对距离较远的金属体进行检测，可采用十几千赫甚至几百赫兹的低频激励频率。;a) b); （3-41） ;线圈的品质因数为 ;Z = f（ρ、μ、x、r、ω） ;涡流位移传感器原理： 实验证明，当距离x减小时，电涡流线圈的等效电感L减小，等效电阻R增大。线圈的感抗XL的变化比R的变化快，则涡流线圈的阻抗是减小的，线圈中的电流i1是增大的。反之，则i1减小。 而且由于线圈的品质因数Q（Q=XL/R=?L/R)与等效电感成正比，与等效电阻成反比，所以当电涡流增大时，Q下降很多。 利用此原理可以制作多种电涡流传感器，如位移测量、转速测量、接近开关等。 ;3、电涡流式传感器的结构;图3-40 CZF型涡流式传感器的结构图;这种传感器的线圈与被测金属之间是磁性耦合的，并利用其耦合程度的变化作为测量值，无论是被测体的物理性质，还是它的尺寸和形状都与测量装置的特性有关。作为传感器的测量装置的线圈仅为实际传感器的一半，而另一半是被测体。 CZF型传感器的性能见表3-1。;4、测量转换电路;电桥电路中线圈L1、L2为传感器线圈，它们与电容C1、C2，电阻R1、R2组成电桥的四个臂。振荡器提供电源，振荡频率根据需要选择。当线圈阻抗变化时，电桥失去平衡。不平衡输出经线性放大和检波，得到输出。;图3-42 高频调幅式测量转换电路;石英晶体振荡器通过耦合电阻R，向由探头线圈和一个微调电容C0组成的并联谐振回路提供一个稳幅的高频激励信号，相当于一个恒流源。测量时，先调节C0，使LC0的谐振频率等于石英晶体振荡器的频率f0，此时谐振回路的Q值和阻抗Z也最大，恒定电流Ii在LC0并联谐振回路上的压降U0也最大。;当被测体为非磁性金属时，物体接近探头时，由于涡流效应，线圈的等效电感L减小，并引起线圈品质因数Q值的下降，并联谐振回路谐振频率不再等于石英晶振的频率而发生失谐状态，使输出电压U0大大降低。 当被测体为磁性金属时，探头线圈的电感量略为增大，但由于被测磁性金属体的磁滞损耗，使探头线圈的Q值也大大下降，输出电压U0也降低。 在以上两种情况下，被测体与探头的间距越小，输出电压就越低。经高频放大、检波、低放之后，输出的直流电压反映了被测物的位移量。 以上几种情况见图3-42-1;图3-42-1 定频调幅式的谐振曲线;（3）调频式电路;并联谐振回路的谐振频率为;当电涡流线圈与被测体的距离x改变时，电感量L随之改变，引起LC振荡器的输出频率改变，此频率可直接用计算机测量。用模拟仪表显示，必须用鉴频器，将频率?f转换为电压?U。;图3-44 轴向位移的监测;在设备停机时，将探头安装在与联轴器端面2mm距离的机座上，调节二次仪表使示值为零。当汽轮机启动后，长期监测其轴向位移量。可以发现，由于轴向推力和轴承的磨损而使探头与联轴器端面的间隙?减小，二次仪表的输出电压从零开始增大。可调整二次仪表面板上的报警设定值，使位移量达到危险值时，二次仪表发出报警信号或发出停机信号以避免事故发生。上述测量属于动态测量。;（2）振动测量;图4-45 振幅测量;（c）叶片振动测量;（3）转速测量;图3-46 转速测量;（4）安全检测;图3-48 电涡流式通道安全检查门电路原理框图;安全门原理：L11、L12为发射线圈，L21、L22为接收线圈，密封在门框内。晶振产生的音频信号通过L11、L12在线圈周围产生同频率的交变磁场。因为L11、L12与L21、L22相互垂直，成电气正交状态，无磁路交链，U0=0。当有金属物体通过L11、L12形成的交变磁场H1时，交变磁场就会在该金属导体表面产生电涡流。电涡流也将产生一个新的微弱磁