薄膜光学参数表征误差处理技术.pdfVIP

1001-4322(2012)08-1919-06 薄膜光学参数表征误差处理技术 吴素勇 龙 兴武 杨开勇 国防科学技术大学光电科学与工程学院，长沙410073 摘要：针对光度测量数据中难以消除的系统误差对薄膜光学参数表征精度的负面影响，提出一种新型 的误差处理 技术。选取 薄膜光谱系 数对折射率 和几何厚度 的一阶偏导 数，对大部分测量入射角满足符号相反 或只有其中 一个为零的 条件的波段 ，剔除偏导 数对全部测 量入射角满 足符号相同或同时为零条件的奇点波长 附近波段， 作为反演表 征用的光度 测量数据采集区域，以最小化光度测量系统误差引起的薄膜光学参数反演表 征值相对真 实值的偏差 大小。通过 数值模拟实 验，对比研 究了该技术 对不同偏振光和不同测量入射角范围的 适用性及实施技巧，以可复现的数值实验数据和合理的理论解释支持和验证了这种误差处理技术的可靠性。 薄膜；光学参数表征； 偏导数筛选； 系统误差；光度法 O484.4 A 10.3788/HPLP1919 2011-11-23 2012-02-16 吴素勇(1984-)，男，博士研究生，主要从事光学薄膜方面的研究；sywu2001@163.com。 位 子 束 ：外硼轱来 j 粒 子 @@[1] Furman S A, Tikhonravov A V. Basics ofoptics ofmultilayer systems[M].Gif-sur-Yvette: EditionsFrontières, 1992 221-233.: @@[2] Temple PA. Thin-film laserconstantsYork:opticalofusingabsorptionNew solids.measurementscalofimetry[M]//HandbookAca demicPressInc.1985:135-153. @@[3] Zheng F,Y Kikuchi K. Analyticalmethod ofdetermination optical constants 1997,film[J].36(25)Opt,weeklythin Applofa :absorbing 6328.6325- @@[4]梁丽萍，郝建英，秦梅，等.基于透射光谱确定溶胶凝腔ZrO2薄膜的光学常数[J].物理学报，2008，57(12):7906-7911.(Liang Liping，Hao Jianyin, Qin Mei, et al. Determination ofthe opticalfromconstants ActatransmissionfilmssimplyZrO2derivedof sol-gelthespectra. 2008,57(12):Physica7906-7911)Sinica, @@[5] Parramon J S, BorrullUse theF,BoschmanufactureS,characterizationJofetinformationopticalal. multilayersforsamplesonthe global2003,through42(7):Appla1325-1328.Opt,optimization[J]. @@[6] Chen W P,Chen M.J Useof surface plasmadetermination oftheandthinfilms[J].wavesconstantsOptforthicknessoptical J metallic Am,Soc189-191.1981,71: @@[7] Cardin J,LeducD. thickness,couplingprism-filmfilmsoffrommeasurementsthinDeterminationtheindex,refractive lossesopticaland Opt,[J].894-900.2008,47(7):Appl @@[