采用接触式极化法研制有机聚合物电光光波导调制器.pdfVIP

文章编号： （ ） 采用接触式极化法研制有机聚合物 电光光波导调制器! 杨建义!! 江晓清 王明华 （浙江大学信息与电子工程学系，杭州 ） 摘要： 结合器件的整体结构考虑，对接触式极化方法和工艺进行了研究，基于接触式极化法，设计并制作了聚合 物电光光波导相位和偏振调制器。通过测量器件的偏振调制特性，在 光波波长下，获得了最大电光系数为 ，电光相位调制器的半波电压为 。 关键词： 导波光学；光调制器；有机聚合物；接触式电极化法 中图分类号： 文献标识码： 引 言 聚合物光波导相位和偏振调制器。采用检测偏振态 的方法，测量了该材料的电光系数和电光相位调制 有机聚合物是极具前途的光波导器件材料之 器的半波电压。对聚合物电光材料接触式电极化法 一。经过多年的努力，人们已经成功地获得了低损 和电光特性应用的探索，为进一步的接触式极化和 耗有机聚合物光波导［ ］，并研制出了多种光波导器 聚合物材料的电光特性应用打下基础。 ［ ，］ ［ ，］ 件，如阵列波导光栅（ ） 、热光光开关 、电 光调制器［ ， ］、可变光衰减器［ ］等。对有机聚合物 聚合物光波导的设计与制作 材料的电光效应进行研究，开发其在高速光调制方 面的功能是拓展聚合物材料应用的必然。在聚合物 本文中所制作的有机聚合物光波导结构如图 材料中产生电光效应有多种方法，目前最为成熟的 所示。用于制作器件的电光聚合物材料是旁链型 方法是采用电极化法［ ］。利用这种方法，人们研制 ［ ］ 材 料 ： （ 成功半波电压为 的高效电光调制器［ ］，与此 ）。在 光波波长下，测得 同时，调制带宽也超过了 ［ ］。 的 聚合物薄膜折射率：对 模，为 获得有机聚合物电光材料的方法常用电极化方 ；对 模，为 。下限制层材料选择为不受 法，如电晕式极化法（ ）和接触式极化法 的环戊酮（ ）溶剂损害的紫 （ ）［ ］。接触式极化法可以进行区域选