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采用空间光调制器的光变图像光刻系统.pdf
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第15 卷 第5 期 2004 年5 月 Jour nal of Opt oelect ronics Laser Vol .15 No .5 May 2004
采用空间光调制器的光变图像光刻系统
陈林森 !解剑锋!沈 雁!汪振华!邵 洁!陆志伟
苏州大学信息光学工程研究所 苏州 215006
摘要 用激光干涉型光学头产生干涉条 纹 采用空 间光调 制 器 SL M 进 行 子 图 输 入 实 现 光 学 可 变 图 像
DVD 的快速光刻 分辨率可达5 080 dpi 平均运行效率达8 000 dots s 1 270 pdpi 以上 研制了大幅
面激光光刻系统 给出了实验结果
关键词 3 D 图像 干涉 光学头 空间光调制器 SL M
中图分类号!TN305 .7 O438 .1 文献标识码!A 文章编号!1005-0086 2004 05-0561-04
0 Ptical Variable I mage Laser Lit hograPhic Syste m wit h SL M
CHEN Li n-sen XI E Ji an-f eng SHEN Yan WANG Zhen-hua SHAO Ji e
LU Zhi- Wei
Instit ute of Inf or mati on Optical Engi neeri ng Soocho W Uni versit y Suzhou 215006 Chi na
Abstract A nOvel OPti cal cOnfi 9ur ati On Was Pr OPOsed t O r eal i ze t he f ast et chi n9 Of OPti cal vari abl e devi ce On
l aser l i t hO9r aPhi c syst em . The 9r ati n9 i nt erf er ence head i s used t O 9ener at e t he i nt erf er enti al fri n9es and t he
sPati al l i 9ht mOdul at Or SL M i s used as t he su b-i ma9e i nPut devi ce . The r esOl uti On Of OPti cal vari abl e devi ce
can be achi eved u P t O 5 080 dPi . Thi s syst em can be r un i n ver y hi 9h effi ci ent mOde Wi t h 8 000 dOt s s . The
l ar 9e f Or mat l aser l i t hO9r aPhi c syst em has been f abri cat ed and t he r esul t i s 9i ven .
Key words 3 D i ma9e i nt erf er ence OPti cal head SL M
代激光转移 印 刷 技 术 中 需 要 制 作 更 大 面 积
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