半导体纳米薄膜导电特性测试.pdfVIP

第 ??卷 第 ?期? 实 验 室 研 究 与 探 索? ???．?????．?? ????年 ?月? ??????????????????????????????????????? ???． ????? 半导 体 纳 米 薄 膜 导 电特 性 测 试? 熊 淑 平? ?黄 冈职业 技术 学 院 ，湖 北 黄 冈 ???????? 摘? 要 ：通过 对 某些 测试 方 法的 改进 ，设 计 了综 合 测试 方案 ，以达 到最 终 实现 对 薄膜样 品 膜 面、膜厚 两 个? 方 向上 电导 率和 ???????系数 的测试 。制备 了薄膜 样 品 。应 用 电?? 束微 影技 术 ，在 矽 晶片表 面 制造 纳? 米 孔洞 阵列 结构 ，以改善 半导 体介 面性 质 并增进 其 导 电性 ，研 究 结果 显 示 ，在 矽 晶片 表 面建 构 方 型孔 洞? 阵 列 ，且在 孔 洞 够 小的情 况 下 ，与 未建构 纳 米孔 洞 而只做 退 火处理 的 对 照样 品 相 比 ，有 效 降低 了导体 的? 接 触 电阻 ，在 金属 导 体 电接 触 中 ，拥有 更加优 良的 导 电性 ，即在 低 温制 程 的 中小孔 洞 阵列 结构 能 取代 退? 火处理 。纳 米科技 有 效增 进半 导体 薄膜 接 点导 电特 性 。? 关键 词 ：半 导体 ；纳米 ；薄膜 ；导 电特性? 中 图分类 号 ：????? 文献标 志码 ：?? 文章 编 号 ：????— ????????????— ????— ??? ??????????????????????????．???????????????????????????????? ???? ??????????? ??????????????????????，????????????????，??????? ????????：?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????．? ??????????????????????????????????????????????????，????????????????????????????????????????????????????????????????? ????? ??????????????????????????????????????，????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????? ???????????????． ?????????????????????????????． ?????????????????????????????????????， ???? ?????????????????????? ???????????????? ??????????????????????????????