2014-12-25 第13次课 外差干涉与莫尔技术.pdfVIP

外差干涉与莫尔技术 南京理工大学 陈磊 2014年12月25日 参考文献 1. D．Malacara, Ed. Optical shop testing 3rd Edition. John Wiley and sons, New York. 2007，Chp.16 2. D. Malacara, et al. Interferogram analysis for Optical testing. 2nd.Ed.,Marcel Dekker, Inc, New York, 2005，Chp.9 3. 苏大图.光学测试技术.北京理工大学出版社，1996，第7章 4. 雷尼绍用户手册 激光干涉仪原理与应用 5. 安捷伦激光干涉仪手册 6. ZYGO Corp. A Primer on Displacement Measuring Interferometers 7. 苏显渝,李继陶. 信息光学.科学出版社，2002 8. 殷纯永. 现代干涉测量技术. 天津大学出版社，1999 9. 范志刚. 光电测试技术. 电子工业出版社，2004 10. 达飞鹏，盖绍彦. 光栅投影三维精密测量。科学出版社，2011 11. 马锁冬. 基于相位恢复的三维形貌复合通道测量技术研究及应用. 南京理工大学博士论文，2012 主要内容 ? 引言 ? 预备知识－光偏振 ? 外差干涉法 ? 外差干涉的原理 ? 频移方法 ? 外差干涉测量举例 ? 双频激光干涉仪测量位移 ? 双频激光干涉仪测量振动 ? 偏振移相外差干涉仪 ? 激光光外差干涉仪 ? 空间载频移相干涉法 ? 莫尔技术 ? 三维形貌测量 ? 莫尔条纹的形成原理 ? 虚光栅莫尔法分析干涉图 ? 光栅调制测形法 激光干涉仪的应用 三维形貌测量 偏振光的产生 ?Basic element that converts unpolarized light to linearly polarized light ?Azimuthal orientation determines orientation of output polarization state ?Known as an analyzer when used to determine state of polarization 分光棱镜与偏振分光棱镜 Non-polarizing Polarization Beamsplitter Beamsplitter (NPBS) (PBS) Splits incoming beam Splits incoming beam based regardless of polarization on polarization state ?/4波片 Linearly polarized light is turned into circularly polarized light by passage through a quarter-wave plate with its fast axis at 45° to the incoming polarization state. 偏振光的叠加 ?Incoming orthogonal polarization states do not i