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10_第10讲_薄膜材料物理_第四章薄膜的表面和界面.pptVIP

10_第10讲_薄膜材料物理_第四章薄膜的表面和界面.ppt

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10_第10讲_薄膜材料物理_第四章薄膜的表面和界面

第四章 薄膜的表面和界面(续) 第10讲 在研究薄膜中,表面:固体和气体或真空的分界面 界面: 固体和固体的分界面 几何表面:表面的几何分界面。 物理表面:一个电子结构不同于内部的表面区域 由于具体的材料不同,表面区的厚度有很大的差异 ;§4—3 电接触;金属;Ec:导带底 Ev:价带顶 Ec即是晶体中自由电子所具有的最低能级,它相当 于晶体中静止的自由电子的能量. W:真空能级与导带底能级之差,即将晶体中静止 电子移至晶体处真空中所需要的能量——电子亲和能 逸出功Φ: 是将电子从费米能级EF移至真空中所需要 的最小能量,若以Ec为参数能级, 则 EF 费米能级是系统的化学势能,即是系统中增加一个 电子所引起系统自由能的变化。; 接触电势差是逸出功不同的两个物体接触以后, 由于电子从逸出功小的物体流向逸出功较大的物体, 最后达到平衡状态,两物体的费米能级相同。 结果前者带正电,电势降低;后者带负电,电势升高; 在两者之间产生了电势差——接触电势差 ;4.3.2 金属与金属的接触 例如Ag(银)和铜接触,逸出功不同 从能量观点来看,电子将从逸出功较小的金属 向另一金属流动,直到最高能量的电子在这两种金 属中占有相同的能级。;接触前能级图; 两金属自由电子浓度不同也要引起电势差,因为 浓度大的要向浓度小的一方扩散,从而前者带正电, 后者带负电。有自由电子论知,其静电电势差为: ;a.紧密接触;当xd-x时,电子受到金属的吸引力为: (忽略多级镜像力); 若在外加电场E作用下如图,则电子所受电场力为 -qE,势能为-qEx.所以,电子由金属1→2所需要的功为:;总电流密度:; 三种接触电阻是并联的,并且R1R2R3;4.3.3 半导体与半导体接触;依结的宽度可分为: 实变型结:结宽仅有几个原子长度的范围内 缓变型结:结宽在几个扩散长度范围内 单边实变结:过渡在一种半导体中只有几个 原子长度,而在另一种半导体中却为几个扩散长度 同质方法 P型半导体和N型半导体接触; 这时,空间电荷层具有一定的厚度,其厚度与接触 类型和材料而异,通常是微米数量级。两边存在电位 差,其中电荷分布与电位关系服从泊松方程,由;空间电荷层; 在反向连接情况下,耗尽层(空间电荷层)加宽, 几乎没有多数载流子电流。但是,这时对于P型半导 体中少数载流子空穴来说却是正向连接,形成少数载 流子的电流(μA数量级)——饱和电流;(a)平衡状态下;电子处于能量为E的状态几率为:;若在P型半导体上加以正电压V,则其费米能级下降qV。 在这种情况下,虽然 不变,; 因此,在界面两边产生电子密度差(nn’’-np), 电子从n型区向p型区扩散,从而产生从p型区向n型 区的扩散电流,其电流密度为:;式中:ND和NA分别为n区和p区的净杂质浓度 ni:为半导体的本证载流子浓度 接触电势差Vd的大小由下述三方面决定:; 薄膜p-n结二极管→窄二极管,p,n区很薄,其 厚度远小于少数载流子的扩散度,这表示在p-n结 两边,在结与欧姆接触(电极的)之间不发生电子 与空穴的复合。; (2)异质结 以n-n型同型异质结为例 假设两种n型半导体的逸出功分别为Φ1和Φ2, 亲和能分别为x1和x2,且Φ1Φ2 和x1x2, 如图;(a)接触前; 因为左边半导体的逸出功较小,所以接触以后, 电子从左边流向右边,结果左边半导体的费米能级 EF逐渐降低,右边半导体的费米能级逐渐升高, 直到达到平衡,使通过结的费米能级相同为止。 电子从左边流走以后,留下电离的施主,形成 一个耗尽层,而在结的右边形成自由电子的积累层 ; 为保持结的两侧费米能级相同,在界面左侧的耗 尽层中导带必须上弯。因为两侧的费米能级要达到 相同,结两边的费米能级必须相对移动Φ2-Φ1, 由此,得到左边位垒为Φ2-Φ1,即右边位垒为 (Φ2-Φ1)+(Φ1-x1)-(Φ2-x2)=x2-x1, 如图: 热激发:电子从左→右,右→左,两个方向电流相等, 总电流为零。 外加电压:右边的自由电子因为深度较高,因而具 有类金属性质,电压全部加在左边 若左边接负→位垒变小,从右→左 电流大→正向 若左边接正→位垒变宽,从左→右 电流小→反向 ∴ 这种n-n型异质结具有二极管的性质;4.3.4 金属与半导体接触;金属与n型半导体接触 当ΦmΦs时, 接触后,半导体界面层中的电子流向金属, 该层中留下带正电的施主;;(a)接触前; 金属内电子

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