膜基界面结合强度表征和评价.pdf

2001 年 10 月 表 面 技 术 第 30 卷 第 5 期 15 薄膜与涂( 镀) 层 膜基界面结合强度表征和评价 马峰, 蔡王旬 ( 上海交通大学 教育部高温材料与高温测试重点实验室, 上海 200030) [ 摘要] 膜基界面结合强度是直接关系到膜基体系最终使用性能和可靠性的关键因素。对现用的薄膜与基体 之 间界面结合强度表征方法进行了综合评述, 并报道了一 些研究新进展。 [ 关键词] 薄膜; 基体; 结合强度 [ 中图分类号] TQ113. 25+ 1 [ 文献标识码] A [ 文章编号] 1001- 3660( 2001) 05- 0015- 05 Characterization and Evaluation of the Interfacial Bond Strength Between Coating and Substrate MA Feng, CAI Xun ( Key Lab. of the M inistry of Education for High Temperature M aterials and Testing, Shanghai Jiaotong Univ . , Shanghai 200030, China) [ Abstract] The interfacial adhesion and bond strength between coating and substrate are often the predominant factor in de- termining the performance and reliability of coating- substrate systems. In this paper, a wide range of test methods, which has been developed for characterizing and evaluating coating- substrate bond strength, is reported. Some new developments in this area are a-l so illustrated. [ Keywords] Coating; Substrate; Bond strength 0 引 言 以下条件: ( 1) 能使薄膜脱 离基体并有良 好的物理模 型; ( 2) 能够准确地测定有关力学参量。此外, 测试方 材料表面改性和薄膜材料应用中, 首先要求薄膜 法应简单易行, 并可在工件上直接进行无损检测; 重复 与基体之间具有足够的界面结合强度。膜基之间结合 性好, 易于实现自动化。