工艺条件对微波直接氮化法合成AIN的影响.pdfVIP

工艺条件对微波直接氮化法合成??挠跋?????????曾小锋Ⅵ，彭虎???朔?，雷春???琎???把?实验工艺条件对微波直接氮化法合成??挠跋欤??》娴???????????????具有选择性自身加热、快速升温、无污染等诸多优点，已经成的微波高温实验设备?⒉ㄆ德饰?．???⑽⒉ǘ疃üβ饰???，选择了合适的微波氮化工艺，得到了高质量的???原料准备根据微波加热特点，研究了在微波环境下装料匣钵以及添加剂对?粉氮化的影响。结果表明，采用莫来石材料的装料匣钵与添加复合添加剂????锌粒??形⒉ˋ?鄣;??诔Ｑ瓜????保温????玫搅司??形状规则、颗粒均匀细小的高纯度????????唬琍??????，????沾删哂杏乓斓牡缪?阅芎透叩娜鹊悸剩?且恢趾?有发展潜力的先进陶瓷材料???勺魑:衲ぜ?傻缏泛凸β?模块的基板材??、集成电路??高性能封装材料等昭?Ｆ渲懈?质量的??勰┦蔷龆ㄕ庑┯τ玫墓丶?砸蛩豙???Ｄ壳埃??业生产??鄣姆椒ㄖ饕N狝?壑苯拥;?ê脱趸?撂既?还原法【??Ｏ啾戎?拢珹?壑苯拥;?ň哂泄ひ占虻ズ统杀?低的优点，但存在的主要问题是?粉在低于氮化温度的熔。点??。?时就开始熔化而结成块，使氮气扩散困难，难以与?粉充分进行反应。随着反应的进行，?粉颗粒表面氮化后形成的氮化膜也阻碍氮化反应向内部进行，通常还需要研磨等工序来粉碎结块的产物，既延长了工艺周期，增加了生产成本，又容易带入杂质，难以获得粒度小、纯度高的??Ｋ?以，寻找一种有效的方法来改善和促进?粉的氮化反应具有重要意义。微波高温加热技术是一种新型高效的高温加热技术，它功应用于陶瓷烧结与无机粉体合成领域?浚?ń?⒉?尤燃?术应用到?粉直接氮化中还少有报道。本文依据微波加热的特点，利用长沙隆泰微波热工有限公司生产的?—???将?粉??ィ???目标准筛?⒎???分析纯，上海经济区江城试剂厂?⒙然??分析纯，天津市大茂化学试剂厂?匆欢ㄖ柿堪俜直?下同??信渲疲?渲蟹??А⒙然??的添加方法是将其与?粉直接混合均匀，锌粒的添加方法是将锌粒平铺在反应匣钵底面，然后埋上?粉。实验用样品配料如表??尽＝ǚ勰┭?贩湃司郯滨デ蚰ス拗胁捎镁郯?酯小球在快速球磨机上千式球磨混合??。再将球磨混合好的粉料过?目标准筛后放人反应匣钵备用，反应匣钵有氧化铝匣钵、碳化硅匣钵、莫来石匣钵?帧?实验用样品配料表·???长沙隆泰微波热工有限公司，长沙???；??洗笱Р牧峡蒲в牍こ萄г海?ど????摘要关键词直接氮化法??—????，??珻??????????，????????，????表?曾小锋：男，??年生，硕士，工程师，主要从事微波高温技术处理材料的研究微波加热装料匣钵添加剂????????????瑃?????甌??????????甌??????琣?????琩??????，?????????琣???????：??—????．?? 峁?胩致?材料导报??年?月第?卷第???氮化合成??样品测试?????，??观察粉末形貌。用美国??氮氧分析仪装料匣钵对微波直接氮化?粉的影响微波混合式加热技术来解决?粉在微波环境下低温段难以损耗正切显著增大，则可以靠自身吸收微波体积性发热而达部添加高损耗组分，使欲加热的?粉样品微波吸收能力增强，从而在室温下就能被迅速加热而达到快速加热的目的，选择合适的装料匣钵，充分应用第一种混合式加热方法，对?粉的加热氮化有重要作用。但是，对于这种多相混耗的微波功率也不同，表现在微波加热过程中就是微波会有所不同。通过有效利用微波的这种选择性加热特点，有可能化，低温吸波陛能一般；碳化硅材料的吸波性能在低温和高温均抗热震性能较差，容易由于陕速升温而导致自身开裂损坏，所以不适合使用在?粉的微波陕速氮化中。将装好??原料的反应匣钵放入型号为?—???的微波高温实验设备，在常压下加热到???保温????行氮化反应。其中表?惺笛?的升温曲线如图??尽＠?用???微波漏能测试仪检测微波的泄漏，使用进口的???马拉松系列的红外测温仪直接测量样品的实际温度，反应结束后随炉冷却至???以下取样。工业微波烧结炉的结构㈧如图??尽?添加复合添加剂的?粉微波氮化温度曲线图?⒉ǜ呶率笛槁?峁?用日本理学电机????湎哐苌湟欠治霾?物的相组成。用???????璧缇?????测定试样的?K睾?俊?表??硎镜氖歉髦肿傲舷徊Ф晕⒉ǖ;疉?鄣挠?响情况。从表?梢钥闯觯?蛭D@词?徊У目谷日鹦阅苡?良，能使样品快速升温以及产物的形貌疏松，所以在实验的?种匣钵中最适合微波直接氮化?粉的是莫来石匣钵。表?髦肿傲舷徊У奈⒉ㄖ苯拥;疉?矍榭?对于?粉这种高反射、低损耗型材料，在室温下对微波的吸收能力微弱，但当温度升高时，由于?粉的相对有效介电损耗因数及介质损耗正切等参数随着温度的升高而迅速增大，可以使其对微波的吸收能力大大增强