犲薄膜的犆犞犇外延生长.PDFVIP

第２７卷　增刊 半　导　体　学　报 犞狅犾．２７　犛狌狆狆犾犲犿犲狀狋 ２００６年１２月 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犇犲犮．，２００６  犛犻１－狓犌犲狓∶犆缓冲层上 犌犲薄膜的 犆犞犇 外延生长 王荣华　韩　平　夏冬梅　李志兵　韩甜甜　刘成祥　符　凯　谢自力　修向前 朱顺明　顾书林　施　毅　张　荣　郑有 火斗 （南京大学物理学系 江苏省光电信息功能材料重点实验室，南京　２１００９３） 摘要：用化学气相沉积方法，在犛犻