复旦大学微电子专业工程硕士课程001.ppt

半导体器件物理;第一章　开篇、引言;教材：《半导体器件物理》， 　　　　　复旦大学微电子研究院， 　　　　　　2005年2月;课程内容结构;;学习要领;第二章　半导体器件物理基础;2.1 晶体的结构;2.1 晶体的结构;SCC;晶体的描述２：密勒指数、晶向、晶面;（100）;晶体的描述 3：倒格子晶格、布里渊区;布里渊区 (Brillouin zone) 的构成;面心立方晶体的布里渊区;晶体沿着不同的晶向，原子的排列显然不同。也因此，沿着不同的晶向，晶体的性质也将有所不同。包括物理性质、电学性质、光学性质、以及化学性质。;2.2 量子力学的基本概念;　微观物质的波粒二象性（Particle-wave duality） ;　微观粒子能量的不连续性，即量子化 ;黑体辐射;黑体热辐射的理论与实验结果的比较;光电效应;氢原子光谱;电子衍射实验;经典物理的观点;粒子和波：物质存在和运动的两种不同 　　　　　的、独立的形式，它们互不 　　　　　相关。;量子力学的观点;电子：在某些时候表现出粒子性－－光电效应；而在另一些时候表现出波动性－－电子的衍射花纹；;波动性和粒子性是微观物质的基本属性，是微观物质存在与运动的统一体的不同侧面。－－这就是物质的波粒二象性。;　　　　　　　　　　　　　光子;　泡利不相容原理（Pauli exclusion principle） ;测不准原理;对于能量和时间，也有类似的关系;在不确定原理基础上，可以较容易理解隧道效应。;　薛定谔的波动方程（Schr?dinger Equation） ;1924 年， Schr?dinger 阅读了 de Broglie 毕业论文。这成了他研究的转折点并深刻地影响了他的思想。同年在他就 de Broglie 的工作做 seminar 的时候，听众中有一位 Sommerfeld 的学生建议，应当有一个波动方程来描述 de Broglie 波。几周后， Schr?dinger 找到了这个波动方程。;　　氢原子模型;　波函数的物理诠解 ;　对量子力学的理解 ;量子力学仍然未能解答许多基本的问题： ;2.3 统计规律－费米／狄拉克统计 ;一个处于热平衡的独立系统，具有统一的费米能级；反之亦然。所谓统一的费米能级是指费米能级不随空间位置的变化而发生变化。我们可以从以下几个方面去理解认识费米能级： ;　在绝对零度以上，费米能级以下的电子能级的占有几率总是大于，而费米能级以上的电子能级的占有几率总是小于； 　费米能级是处于热平衡系统中电子填充能级水平的标志； 　如果费米能级是温度的函数，那么构成系统的微观粒子数量一定是随着温度变化的； 　费米能级并不总是与某个电子能级相对应；换句话讲，费米能级的位置上并不一定就有电子的能级。 ;2.3 统计规律－玻色-爱因斯坦统计 ;2.3 统计规律－经典的麦克斯韦尔／玻尔兹曼统计 ;;2.4 电子能级和晶体的能带论 ;当大量相同的晶体原子相聚，构成晶体的时候，它们同时也就构成了一个电子系统。根据泡利不相容原理，此时，原本孤立时相等的原子中的电子能级不可能再相等而会有差异，于是，源于孤立原子的电子能级就扩展为准连续的一个能带。通常，晶体原子的价电子能级扩展为价带能带，而导带能级就扩展为导带能带。 ;如果价带和导带有部分相互重叠，这样的材料就是金属，金属中有大量可以自由移动的电子，它是电的良导体；如果价带和导带没有相互重叠的部分，那么导带的最低能级和价带的最高能级之间是不允许电子状态存在的能量空间，这个能量空间叫做禁带。如果禁带宽度很大，则价带中的电子很少被激发到导带，也就是说导带中几乎没有可以自由移动的“准自由电子”，同时它的价带也几乎是满的（也就是价带能级全部被电子占据），它是电的不良导体，通常叫做绝缘体。而如果禁带宽度适中，就会有相当数量的价带电子被激发到导带，导带中就会有相当数量的 “准自由电子”，同时价带中也有相当数量的不被电子占据的能级（暂称为能级空位），这样的材料的导电能力介于金属和绝缘体之间，也就是我们称之为半导体的材料。 ;能带 原子能级 原子轨道 ;导带的电子由于可以自由移动，因此可以参与导电；如果导带是全空的，就没有能够参与导电的导带电子。 ;这时，该能级空位附近原子中的价电子就有可能填充到这个空位，而空位则移到附近的那个原子中，这时，价带的电子也能够传导电流。而满带时，电子的这种移动无法发生，因而满带中的电子无法参与导电。;空穴是价带中的能级空位，等效地带有正电荷。大量价带电子的行为可以等效地看成是空穴运动的效果。引入空穴的概念，使我们可以只关注价带中的空穴的运动，正如我们只关注导带的电子运动一样。 ;　布拉赫波函数（Bloch wave function）和能