真空帮浦的分类.PDFVIP

Chapter 3 產生真空的辦法  3 1 真空幫浦.  3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦  3 3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦.  3.4 抽真空系統的幫浦組合 1 第一節 真空幫浦  vacuum pump 定義： 真空幫浦為一種裝置可將真空系統中的氣體抽出，使返 回真空系統中的氣體數量較抽出真空系統的氣體數量為 少 不論為何種形狀構造或何種抽氣原理，均稱為真空幫浦 2 真空幫浦的分類 排氣式幫浦 正位移式幫浦（positive displacement type） 往復式幫浦 迴轉式幫浦 (rotary pump and scroll pump) 動能式幫浦 （kinetic energy type） 機械動能傳遞式 (turbo-molecular pump) 流體（蒸氣）動能傳遞式 (diffusion pump) 貯氣式幫浦 吸附式幫浦（surface adsorption type pump） 吸附幫浦（sorption pump） 結拖幫浦（getter pump） 冷凍幫浦（cryogenic pump簡稱cryo pump） 離子幫浦（ion pump) 3 真空幫浦的一般性能 最終壓力 （ultimate pressure） 若真空幫浦僅抽其本身的氣體，在真空幫浦的出口處測 定壓力，則幫浦的壓力下降至一極限值後即不會再下降 操作壓力範圍 （operational pressure range ） 通常選擇真空幫浦時應考慮要能維持此真空系統操作的 壓力範圍 抽氣速率 抽氣速率一般多用為真空幫浦的規格 氣體的選擇性（selectivity） 氣體的選擇性與幫浦的操作原理有關 4 第二節 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 早期的活塞幫浦 水銀活塞幫浦（mercury piston pump） 人力唧筒式幫浦 水噴流幫浦 蒸氣噴流幫浦 5 迴轉幫浦 (Rotary pump) 滑翼油墊迴轉幫浦 一級滑翼迴轉幫浦 二級滑翼迴轉幫浦（two-stage sliding-vane rotary pump） 迴轉活塞幫浦 6 滑翼油墊迴轉幫浦  迴轉幫浦（Rotary pump）主要有一帶動轉子（rotor）迴轉的電動 馬達，轉子在一不動的靜子（stator）中轉動，以機械方式推動氣體 分子流向高壓側而被壓縮，故屬於正位移式幫浦  歸納各種型式的迴轉幫浦，其操作機制如下： 馬達→轉子→滑翼（sliding vane），活塞（piston），柱塞 （plunger）或滑動閥（sliding valve）→壓縮氣體→排至大氣  潤滑與氣密 通常用油為潤滑劑 並作為推動氣體的機件與靜子間的氣密襯墊（seal）  迴轉幫浦的抽氣速率 與壓力有關，僅在最佳操作壓力範圍內隨壓力變化較小，即抽氣速 率接近常數  滑翼油墊迴轉幫浦 sliding-vane oil-sealed rotary pump 推動氣體的機件即為在轉子上的滑翼（sliding-vane） 7 滑翼油墊迴轉幫浦的構造與原理 8 利用空氣（或氣體）混抽法（Air ballast method）減低或消除蒸氣  靜子靠近排氣口側設有一氣體混抽 裝置  包含有一開關閥，一單向閥，及連 接管  當開關閥打開後，外界大氣（或選 用的氣體）經單向閥直接進入靜子 的氣體壓縮室滑翼推壓氣體的空間， 此時空間內的氣體總壓力為一大氣 壓力加己被壓縮氣體的壓力，故隨 即推開排氣閥排入外界大氣中  因為此時系統內的氣體及蒸氣雖被 壓縮但蒸氣的壓力未達飽和蒸氣壓， 尚不致凝為液體，故可隨氣體排出  當開關閥打開後，雖真空系統中的 壓力會上升，但蒸氣慢慢被抽除後， 系統中壓力亦慢慢下降，然後將空 氣混抽裝置的開關閥關閉，系統中 的壓力即繼續下降 9 渦卷式乾式幫浦  scroll pump 由一迴轉的渦旋 狀的轉子在一與 其共軛 的（conjugate） 靜子中轉動而抽 氣 10 渦卷式乾式幫浦抽氣原理 11 第三節 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 真空系統的真空度達高真空範圍後氣體的分子密度相對減 低，事實上己無法應用正位移壓縮的方法抽氣 利用賦予氣體分子動能的排氣式幫浦或將氣體貯存在幫浦 中的貯氣式幫浦為高真空到超高真空抽真空用的兩類幫浦 高真空幫浦的設計均不能從大氣壓力開始抽真空，原則上 真空系統必須先由上述的抽粗略真空到中度真空用的幫浦 將真空系統抽真空至接近高真空的壓力範圍，然後再起動 高真空幫浦 12 擴散幫浦  diffusion pump 為利用氣體擴散的原理的幫浦 當真空系統中的壓力達可起動擴散幫浦的壓力時，此時氣 流形態己進