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NCVM学习简报;目 录;技朮背景;技朮背景;技朮背景;技朮背景;技朮背景;真空定义： 1大气压下，1mol气体(6.05*1023molecule)占有 22.4L空间，相当于1cm3空间内有1019气体分子，气体 对气壁碰撞产生压力，大小为760mm汞柱或称760Torr。 注意： 真空技术中，一密闭容器内保持真空，并不是指真 正的空，也就是内部并非全无气体。在所谓的高真空状 态下，仍有为数可观的气体。;技朮背景;气体分子密度： 表示单位体积气体分子数目，与气體压力、温度 有关，一般在760Torr下，0℃时，气体分子密度为： 2.7*1019molecule/cm3 由此推算：0℃时， 760Torr=2.7*1019molecule/cm3 1Torr=3.55*1016molecule/cm3 5*10-2Torr=1.78*1015molecule/cm3 6*10-5Torr=2.13*1012molecule/cm3;气体分子自由程： 一个气体分子相邻前后两次碰撞所经历的路程。 气体分子平均自由程： 一个系统内所有气体分子彼此碰撞所经经历的平 均距离，或者同一分子在规定时间内连续碰撞所经历 的平均值。 自然环境中，气体分子一直在高速直线运动，常温 下速度为470m/s(约为音速)。因气体分子密度高，分子 一直在彼此碰撞，人感觉不到气体分子在运动。真空环 境下，气体分子碰撞几率降低，自由路径加长。;常温下气体分子平均自由程： 760Torr=3.72*10-8cm 1*10-3Torr=5 cm 2*10-4Torr=25 cm 1*10-4Torr=50 cm 5*10-5Torr=100 cm 5*10-2Torr=0.1 cm 6*10-5Torr=83cm;技朮背景;不同真空度，气体负荷来源不同： 10-1Torr以上，主要气体负荷：原有体积气体； 10-1Torr~10-3Torr：水蒸气(来自真空桶壁与被镀物)； 10-4Torr~10-6Torr：水蒸气、CO、H2…… 因此，真空度抽到10-4Torr时，真空腔若无漏气， 主要气体来源是真空腔壁与真空腔内零组件表面释 放出的气体，以及被镀物本身的释气。;;镀膜过程;技朮背景;技朮背景;DYC设备镀膜原理： 1.将真空腔内空气排出，一般真空度要求须达到 2*10-4Torr以上，此真空度气体的平均自由程25cm； 2.利用钨丝把靶材(如Sn)加热至气化温度； 3.气化的Sn分子以相当于音速撞击到被镀物而附 着， 若真空度太差，平均自由程不够，则Sn原子气化 后有可能会碰撞到其它残留气体，而无法往被镀物撞 击，会导致膜厚不足。;技朮背景;元素;技朮背景;Sn：第五周期,ⅣA族 熔点：231.89℃ 沸点：2260 ℃ 密度：白Sn:7.28g/cm3 灰Sn:5.75g/cm3 脆Sn:6.54g/cm3 特性：延展性好，空气中表面 生成SnO2而稳定，缓慢 溶于稀酸，能溶于强碱;工作原理;技朮背景;1#真空门示意图; 适量的扩散油在扩散 泵底部加热器加热后成为 油蒸氣，当油蒸气充满喷 射筒后从细缝喷射而出， 喷射出的高速油蒸气分子 向下撞击空气分子使之集 中于扩散泵下半部并从下 部的扩散出口管路被机械 泵抽走。撞击后的油蒸气 接触泵壁后冷凝并流入底 部的加热器。循环此过 程，可以达到持续不断的 排气效果。; 在泵腔内有两个”8“字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上， 由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之 间、转子和泵壳内壁之间，保持有一定的间隙(0.2~0.3mm)，以保证 转子高速运行。一般对工作气体中的灰尘和水蒸气不敏感。终极真空 度达5*10-3Torr。; 是一种变容式压缩机，抽真空能力一般从760Torr~1*10-2Torr 泵腔内有转子，通过转子来压缩空气。通常需要使用油冷(冷却介 质是空气和水)，同时达到密封的作用。; 当真空度抽到10-1Torr时，真空桶内大部份都是水 蒸气，由水蒸气压与温度