纯水系统作业指导书1教程.doc

PAGE  PAGE 55 厦门集顺半导体制造有限公司 40T/H超纯水系统 作 业 指 导 书 厂务部制 2015年5月25日 目 录 目录……………………………………………………………… 2 一、多介质过滤器……………………………………………… 7 手动操作说明……………………………………………………… 7 多介质单机图…………………………………………………… 13 二、活性炭过滤器……………………………………………… 14 手动操作说明……………………………………………………… 14 活性炭单机图…………………………………………………… 17 三、阳塔………………………………………………………… 18 手动操作说明……………………………………………………… 18 阳塔单机图……………………………………………………… 25 四、阴塔………………………………………………………… 26 手动操作说明……………………………………………………… 26 阴塔单机图……………………………………………………… 32 五、RO机组……………………………………………………… 33 手动操作说明……………………………………………………… 33 RO单机图……………………………………………………… 37 六、混床………………………………………………………… 38 手动操作说明……………………………………………………… 38 混床单机图……………………………………………………… 47 七、终端装置…………………………………………………… 48 手动操作说明……………………………………………………… 48 八、常见异常报警及应对措施………………………………… 52 警告：1、本手册仅限于紧急状态使用，非操作员未经允许不得擅自在设备运行正常时操作。 2、操作设备前必须先阅读本手册及电话询问老员工，并密切观察各阀门、按钮和电磁阀开关状态，以及各仪表是否处于正常状态。 气动阀处于关闭状态 气动阀处于打开状态 自动运行时，灯亮为电磁阀打开；手动时，阀门开和关，灯都不亮。 旋钮开关/启动按钮/关闭按钮 一、多介质过滤器运行状态行程表 行程TIME阀门ON使用泵要 点采水-V1,V2原水泵A/B 中的一套原水箱LL液位以上 过滤水箱H液位以下逆洗15minV3,V4反洗水泵设备累计产水时间达到设定值原水箱LL液位以上静置5minN/AN/AN/A正洗10minV1,V5原水泵A/B 中的一套原水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA 多介质过滤器手动操作说明 手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。 警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。 3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。 项次动作操作说明1手动采水将控制柜上多介质过滤器旋钮开关旋转到手动状态。 打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀。） 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。注意：多介质过滤器和活性炭过滤器必须一起运行，否则管道憋压。）2手动逆洗1. 按下原水泵停止按钮，泵即停止。，水泵停止工作。 2．将项次1中的阀门复位，保持控制柜上多介质过滤器旋转开关在手动状态。 3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀） 4.手动操作开启反洗水泵（将反洗水泵旋钮开关置于手动位置，，按下启动按钮，泵即启动。）3静置关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动正洗1. 保持控制柜上多介质过滤器旋转开关处在手动状态。 2.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀） 3.手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5自动产水1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。 2.将项次14中的阀门复位，将多介质过滤器旋钮开关旋转于自动状态。 3.将原水泵、反洗水泵旋钮开关旋转到自