扫描电镜工作原理及其构造探索.ppt

扫描电子显微分析与电子探针 ;第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 ;二、构造与主要性能 ;1．电子光学系统 ; 图10-2 电子光学系统示意图 ;表10-1 几种类型电子枪性能比较;2．偏转系统 ;3．信号检测放大系统 ;4．图像显示和记录系统 ;5．电源系统 ;6．真空系统 ;SEM的主要性能;表10-2 扫描电子显微镜景深;第二节 像衬原理与应用 ;1．二次电子像衬度及特点 ;二次电子像的衬度可以分为以下几类： ;二次电子像衬度的特点： ;ZnO;水泥浆体断口;2．背散射电子像衬度及特点 ;背散射电子衬度有以下几类： ;背散射电子像的衬度特点： ; 二次电子运动轨迹 背散射电子运动轨迹 图10-7 二次电子和背散射电子的运动轨迹 ;二、应用 ;第三节 电子探针X射线显微分析（EPMA） ; 图10-17 电子探针结构示意图 ;一、能谱仪 ;以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。 图10-19 Si(Li)X射线能谱仪 ;Si(Li)能谱仪的优点： ;能谱仪的缺点： ;二、波谱仪 ;波谱仪的特点：; (a)能谱曲线；(b)波谱曲线;电子探针分析的基本工作方式 ;下图给出了ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体定点成分分析结果，可见析出相（t相）Y2O3含量低，而基体(c相)Y2O3含量高，这和相图是相符合的。 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体的定点分析(图中数字为Y2O3mol%) ;下图给出BaF2晶界线扫描分析的例子，图(a)为BaF2晶界的形貌像和线扫描分析的位置，图(b)为O和Ba元素沿图(a)直线位置上的分布，可见在晶界上有O的偏聚。 BaF2晶界的线扫描分析 (a)形貌像及扫描线位置；(b)O及Ba元素在扫描线位置上的分布 ;下图给出ZnO-Bi2O3陶瓷试样烧结自然表面的面分布分析结果，可以看出Bi在晶界上有严重偏聚。 ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布成分分析 (a)形貌像；(b)Bi元素的X射线面分布像;Preparation of nanotube-shaped TiO2 powder ;;;;